特許
J-GLOBAL ID:201103083214844571
非鉄金属洗浄用洗浄液組成物
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
成瀬 勝夫
, 中村 智廣
, 青谷 一雄
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-290016
公開番号(公開出願番号):特開2001-107098
特許番号:特許第4283952号
出願日: 1999年10月12日
公開日(公表日): 2001年04月17日
請求項(抜粋):
【請求項1】水酸化第四級アンモニウム水溶液に、珪酸若しくはアルキル珪酸の第四アンモニウム塩と、防蝕助剤と、アルカノールアミンと、界面活性剤とを添加してなる実質的に金属イオン及び陰イオンの不純物を含まない非鉄金属洗浄用洗浄液組成物。
IPC (5件):
C11D 17/08 ( 200 6.01)
, C11D 1/62 ( 200 6.01)
, C11D 3/08 ( 200 6.01)
, C11D 3/30 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
FI (5件):
C11D 17/08
, C11D 1/62
, C11D 3/08
, C11D 3/30
, H01L 21/304 647 A
引用特許:
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