特許
J-GLOBAL ID：201103085190090670
吸着部材、吸着装置および吸着方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-115151
公開番号（公開出願番号）：特開2011-199303
出願日： 2011年05月23日
公開日（公表日）： 2011年10月06日
要約：
【課題】 被吸着体を吸着・保持するための、パーティクルの発生が少ない吸着部材を提供する。【解決手段】 本発明の一実施形態に係る吸着部材10は、基体1の上面に多数の支持用凸部2を形成した吸着部材10であって、支持用凸部2は、上面中央部に小凸部4を形成した円錐台状をなす基部3の上面及び側面に保護層5を形成してなる。これにより、基部3と保護層5とが強固に密着されることになり、保護層5の剥離によって発生するパーティクルを極力少なくすることができる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
基体の表面に複数の支持用突起を形成した吸着部材であって、前記支持用突起は、上面中央部に突出部を形成した円錐台状をなす基部の上面及び側面に保護層を形成してなることを特徴とする吸着部材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
3C016DA02
, 5F031CA02
, 5F031HA02
, 5F031HA08
, 5F031HA10
, 5F031HA13
