特許
J-GLOBAL ID:201103085573740210

分析用試料の電解研磨装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-202052
公開番号(公開出願番号):特開2011-039017
出願日: 2009年08月10日
公開日(公表日): 2011年02月24日
要約:
【課題】使用する電解液が極めて少量であり、環境への負荷が劇的に減少すると共に、透過型電子顕微鏡による試料の観察視野も広く且つ安価な電解研磨装置を提供する。【解決手段】試料及び又は棒状電極の先端の位置を観察する観察鏡と、試料セル保持台に着脱可能に取り付けられ、上下方向に開口部を有し、開口部において試料を均一に保持すると共に少量の電解液を保持する試料セルと、試料セルの対極として試料に近接して設けられた棒状電極と、棒状電極と試料との間隔を調整する位置調整手段と試料と棒状電極とに電圧を印加する電圧印加手段とを備えている。【選択図】図6
請求項(抜粋):
棒状電極の位置及び/又は試料の電解研磨面を観察するための観察鏡と、試料を保持する試料セル保持台と該試料セル保持台に着脱可能に取り付けられ、上下方向に開口部を有し、該開口部において試料を均一に保持すると共に電解液を保持する試料セルと、該試料セルの対極として試料に近接して設けられた棒状電極を保持し試料との間隔を調整する電極位置調整手段と、試料と棒状電極に電圧を印加するための電圧印加手段とを備え、前記棒状電極を電圧印加手段の陰極側に接続すると共に前記試料を電圧印加手段の陽極側に接続し、試料に電解液を滴下した状態で電圧を印加することにより、前記試料を電解研磨して開孔薄膜化することを特徴とする分析用試料の電解研磨装置。
IPC (3件):
G01N 1/32 ,  G01N 1/28 ,  C25F 3/16
FI (4件):
G01N1/32 B ,  G01N1/28 F ,  G01N1/28 G ,  C25F3/16 Z
Fターム (8件):
2G052AA11 ,  2G052AD32 ,  2G052AD52 ,  2G052EC13 ,  2G052EC14 ,  2G052GA34 ,  2G052JA03 ,  2G052JA08
引用特許:
出願人引用 (10件)
全件表示
審査官引用 (10件)
全件表示

前のページに戻る