赤外線検出素子の製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (4件)：深見久郎 , 森田俊雄 , 堀井豊 , 酒井將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-177760
公開番号（公開出願番号）：特開2011-013224
出願日： 2010年08月06日
公開日（公表日）： 2011年01月20日
要約：

【課題】集積化が容易で検出感度の向上が可能な赤外線2次元イメージセンサの製造方法を提供する。【解決手段】強誘電体膜から成る赤外線検出容量CFのうち、容量部分100は、引出配線102および104により支持されて、溝部330の両側のSi基板に対して保持される。下部電極は、引出配線102と結合し、上部電極は、引出配線104と結合する。容量部分100の平面形状は、長方形形状から、対角線方向に互いに対向する106の部分および108の部分を除いた形状となっている。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

赤外線検出素子の製造方法であって、基板の主表面上に第1の引出配線および下部電極金属層を形成するステップと、前記下部電極金属層上に強誘電体層を積層するステップと前記強誘電体層上に第1の絶縁膜を堆積するステップと、前記第1の絶縁層上に上部電極金属層および第2の引出配線を形成するステップと、前記下部電極直下の前記基板を、前記基板の主表面側から異方性ウェットエッチングすることにより、前記下部電極、前記強誘電体層および前記上部電極層が前記第1および第2の引出配線により支持されるように、溝部を形成するステップとを備える、赤外線検出素子の製造方法。

IPC (5件)：

G01J 1/02 , H04N 5/33 , H01L 27/14 , H01L 27/146 , H01L 37/00

FI (5件)：

G01J1/02 C , H04N5/33 , H01L27/14 K , H01L27/14 F , H01L37/00

Fターム (32件)：

2G065AA04 , 2G065AB02 , 2G065BA12 , 2G065BA34 , 2G065BC02 , 2G065CA13 , 2G065DA06 , 2G065DA07 , 2G065DA10 , 2G065DA18 , 4M118AA01 , 4M118AB01 , 4M118BA07 , 4M118CA35 , 4M118CB12 , 4M118CB14 , 4M118DD09 , 4M118EA01 , 4M118EA14 , 4M118GA02 , 4M118GA10 , 5C024AX06 , 5C024BX03 , 5C024BX04 , 5C024CX41 , 5C024CY47 , 5C024GX08 , 5C024GX12 , 5C024GX16 , 5C024GX18 , 5C024GX19 , 5C024GY31

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-032274
焦電型赤外線センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-131580 出願人：日本セラミック株式会社
焦電型赤外線検出素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-281970 出願人：松下電器産業株式会社

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