特許
J-GLOBAL ID：201103097169282282

位置制御装置

発明者：
小田原 成計

小田原 成計 について


出願人/特許権者：
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社

エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 について


代理人 (1件)： 松下 義治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-260476
公開番号（公開出願番号）：特開2001-083065
特許番号：特許第3937206号
出願日： 1999年09月14日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 試料を保持する試料保持部と、 前記試料の物理量を計測するために前記試料に対向して装着された超伝導量子干渉計と、 前記試料と前記超伝導量子干渉計の相対位置を制御するための走査ステージと、 前記試料あるいは前記超伝導量子干渉計の少なくとも一方を冷却するための冷却ヘッドと、 前記試料あるいは前記超伝導量子干渉計の少なくとも一方への外部からの輻射熱による熱侵入を抑える熱遮蔽板と、を内部に設けた外装となるチャンバーと、 外部から前記試料および前記超伝導量子干渉計を観察するために前記チャンバーおよび前記熱遮蔽板に設けた第一及び第二の開口部と、 から構成される超伝導量子干渉計顕微鏡において、 前記開口部からの視野中に前記試料および前記超伝導量子干渉計を映し出す鏡を、同時に前記試料および前記超伝導量子干渉計を直接観察できる位置に設置したことを特徴とする超伝導量子干渉計顕微鏡。
IPC (1件)：
G01N 13/10 ( 200 6.01)
FI (1件)：
G01N 13/10 D
引用特許：
審査官引用 (11件)
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