基板処理装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森純一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-024768
公開番号（公開出願番号）：特開2002-231792
特許番号：特許第3823027号
出願日： 2001年01月31日
公開日（公表日）： 2002年08月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板が載置されるプレートと、基板が搬入出される開口部を正面側に有し、前記プレートが配置された処理室と、前記プレートの表面から出没可能に配置された複数の昇降ピンと、前記プレートの裏面側で昇降可能に配置され、前記複数の昇降ピンを連結する連結部材と、前記連結部材の、前記正面側及びこれと反対側の背面側にそれぞれ接続された係合部材と、水平方向に進退可能にそれぞれ配置され、前記係合部材と係合し斜め方向に形成された案内部を有する可動部材と、前記背面側のみに配置されたモータと、前記背面側から前記正面側にかけて延設され前記モータにより回転されるシャフトと、前記各可動部材がそれぞれ連結されるともに前記シャフトによって駆動され、前記正面側及び前記背面側にそれぞれ配置された一対の無端ベルトとを有し、前記各可動部材を水平方向に進退駆動する第1の駆動機構とを具備することを特徴とする基板処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/683 ( 200 6.01) , H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/68 N , H01L 21/30 567

引用特許：

審査官引用 (8件)

熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-019237 出願人：キヤノン株式会社, キヤノン販売株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-018301 出願人：東京エレクトロン株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-082852 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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