特許
J-GLOBAL ID:201203002758235061
粒子状物質検出装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (4件):
渡邉 一平
, 木川 幸治
, 佐藤 博幸
, 小池 成
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-189926
公開番号(公開出願番号):特開2012-047597
出願日: 2010年08月26日
公開日(公表日): 2012年03月08日
要約:
【課題】測定感度の高い粒子状物質検出装置を提供する。【解決手段】本発明の粒子状物質検出装置100は、板状の素子基材11、素子基材11に配設された一対の計測電極12a,12bを備え、それぞれの計測電極12a,12bは、平面的に配列された複数の櫛歯部13と、各計測電極12a,12bの複数の櫛歯部13をその一端で連結する櫛骨部14とを有する櫛歯状の電極であり、それぞれの計測電極12a,12bの櫛歯部13が、隙間を空けて相互にかみ合わされるように配置されてなり、且つ、少なくとも一方の計測電極12の櫛骨部14は、誘電体からなる櫛骨被覆部15によって被覆されている。この粒子状物質検出装置100は、一対の計測電極12a,12b及びその周囲に粒子状物質を付着させ、一対の計測電極12a,12b間の電気的特性の変化を測定することにより粒子状物質の検出を行うものである。【選択図】図1B
請求項(抜粋):
板状の素子基材、前記素子基材に配設された一対の計測電極、前記一対の計測電極の間における電気的特性の測定をする特性測定手段、及び前記特性測定手段で測定をされた電気的特性の変化量に基づいて前記一対の計測電極及びその周囲に集塵された粒子状物質の量を求める粒子状物質量算出手段、を備え、
一対の前記計測電極を構成するそれぞれの計測電極は、平面的に配列された複数の櫛歯部と、各前記計測電極の前記複数の櫛歯部をその一端で連結する櫛骨部とを有する櫛歯状の電極であり、
複数の前記櫛歯部は、測定対象ガスの流れ方向に対して垂直方向に各櫛歯が延びるように、且つ、前記測定対象ガスの流入側における一方の前記計測電極の前記櫛歯部と他方の前記計測電極の前記櫛歯部との相互の間隔よりも、前記測定対象ガスの流出側における一方の前記計測電極の前記櫛歯部と他方の前記計測電極の前記櫛歯部との相互の間隔が大きくなるように、前記素子基材に配設されてなる粒子状物質検出装置。
IPC (3件):
G01N 15/06
, G01N 27/22
, G01N 27/00
FI (3件):
G01N15/06 D
, G01N27/22 C
, G01N27/00 Z
Fターム (9件):
2G060AA03
, 2G060AD01
, 2G060AD03
, 2G060AE20
, 2G060AF10
, 2G060AG06
, 2G060AG15
, 2G060JA07
, 2G060KA10
引用特許:
審査官引用 (11件)
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粒子状物質検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-016412
出願人:日本碍子株式会社, 本田技研工業株式会社
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センサ
公報種別:公表公報
出願番号:特願2007-544855
出願人:ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
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光学的測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-351336
出願人:株式会社島津製作所
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