特許
J-GLOBAL ID：201203038450407842

光酸発生剤およびこれを含むフォトレジスト

発明者：
ヤン・チョル・ペ

ヤン・チョル・ペ について

, 
トーマス・カルドラッシア

トーマス・カルドラッシア について

, 
イ・リュー

イ・リュー について


出願人/特許権者：
ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.

ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. について


代理人 (1件)： 特許業務法人センダ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-098236
公開番号（公開出願番号）：特開2012-031134
出願日： 2011年04月26日
公開日（公表日）： 2012年02月16日
要約：
【課題】新規の光酸発生剤化合物(PAG)およびこのPAG化合物を含むフォトレジスト組成物の提供。【解決手段】ラクタム、アミドまたはイミドのような構造-C(=O)N<の窒素ベースの官能性成分を含む新規のイオン性光酸発生剤化合物。特に好ましい光酸発生剤はアニオン成分がラクタム、アミドまたはイミドのような構造-C(=O)N<の部分を含む塩である。また、1種以上の本発明のPAGを含むフォトレジスト組成物も提供される。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
構造-C(=O)N<を含む光酸発生剤化合物。
IPC (4件)：
C07D 207/27 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  C09K 3/00
FI (4件)：
C07D207/27 Z ,  G03F7/004 503A ,  G03F7/039 601 ,  C09K3/00 K
Fターム (28件)：
2H125AF17P ,  2H125AF38P ,  2H125AF70P ,  2H125AH17 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ69X ,  2H125AL03 ,  2H125AL11 ,  2H125AM66P ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN56P ,  2H125AN57P ,  2H125AP02P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  4C069AB12 ,  4C069BB02 ,  4C069BB17 ,  4C069BC12
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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