感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、これを用いたレジスト膜及びパターン形成方法、

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高松猛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-217965
公開番号（公開出願番号）：特開2012-073401
出願日： 2010年09月28日
公開日（公表日）： 2012年04月12日
要約：

【課題】ブリッジ前寸法等の解像力及び露光ラチチュードに優れた感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、これを用いたレジスト膜及びパターン形成方法を提供する。【解決手段】活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物(A)、酸の作用により分解し、現像液に対する溶解性が変化する樹脂(B)、及び、活性光線又は放射線の照射により前記化合物(A)が発生する酸と、酸存在下で反応し、共有結合を形成する化合物(C)を含む、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物(但し、前記樹脂(B)と化合物(C)とは同一の化合物であっても良い)、並びに、これを用いたレジスト膜及びパターン形成方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物(A)、酸の作用により分解し、現像液に対する溶解性が変化する樹脂(B)、及び、活性光線又は放射線の照射により前記化合物(A)が発生する酸と、酸存在下で反応し、共有結合を形成する化合物(C)を含む、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。但し、前記樹脂(B)と化合物(C)とは同一の化合物であっても良い。

IPC (4件)：

G03F 7/039 , G03F 7/38 , G03F 7/004 , H01L 21/027

FI (5件)：

G03F7/039 601 , G03F7/38 501 , G03F7/004 501 , G03F7/004 503A , H01L21/30 502R

Fターム (74件)：

2H096DA10 , 2H125AC65 , 2H125AE06P , 2H125AE07P , 2H125AE08P , 2H125AE12P , 2H125AE13P , 2H125AE18P , 2H125AF17P , 2H125AF18P , 2H125AF19P , 2H125AF21P , 2H125AF27P , 2H125AF33P , 2H125AF36P , 2H125AF38P , 2H125AF45P , 2H125AF70P , 2H125AH04 , 2H125AH05 , 2H125AH14 , 2H125AH15 , 2H125AH17 , 2H125AH19 , 2H125AH22 , 2H125AH24 , 2H125AH29 , 2H125AJ14X , 2H125AJ18X , 2H125AJ64X , 2H125AJ65X , 2H125AJ66X , 2H125AJ67X , 2H125AJ69X , 2H125AM09P , 2H125AM12P , 2H125AM13P , 2H125AM22P , 2H125AM23P , 2H125AM27P , 2H125AM30P , 2H125AM43P , 2H125AM86P , 2H125AM99P , 2H125AN08P , 2H125AN11P , 2H125AN19P , 2H125AN38P , 2H125AN39P , 2H125AN42P , 2H125AN45P , 2H125AN51P , 2H125AN54P , 2H125AN57P , 2H125AN58P , 2H125AN62P , 2H125AN63P , 2H125AN65P , 2H125AN82P , 2H125AN86P , 2H125AN88P , 2H125BA01P , 2H125BA02P , 2H125BA26P , 2H125BA32P , 2H125BA33P , 2H125CA12 , 2H125CB09 , 2H125CC01 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 2H125FA03 , 2H125FA05 , 2H125FA23

引用特許：

審査官引用 (10件)

レジスト処理方法及びポジ型レジスト組成物の使用
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-207588 出願人：住友化学株式会社
感放射線性樹脂組成物、層間絶縁膜およびマイクロレンズ、ならびにそれらの形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-055176 出願人：JSR株式会社
ポジ型レジスト組成物、該ポジ型レジスト組成物を用いたパターン形成方法及び該ポジ型レジスト組成物に用いられる化合物
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-074737 出願人：富士フイルム株式会社

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引用文献：

審査官引用 (1件)

化学大辞典9, 19640315, 第100ページ

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