特許
J-GLOBAL ID：201203051512635452

容量式慣性力センサ

発明者：
西岡 明宣

西岡 明宣 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (3件)： 矢作 和行 ,  野々部 泰平 ,  久保 貴則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-139634
公開番号（公開出願番号）：特開2012-002752
出願日： 2010年06月18日
公開日（公表日）： 2012年01月05日
要約：
【課題】広い範囲の慣性力を検出できる容量式慣性力センサを、可動電極の下面(又は上面)に沿う方向の体格増大を抑制しつつ、検出精度劣化を抑制して提供する。【解決手段】可動電極に対向配置された固定電極として、可動電極の変位にともない可動電極との対向距離が変化するように、可動電極における変位方向に垂直な側面に対向配置された第1固定電極と、可動電極の変位にともない可動電極との対向面積が変化するように、第1固定電極と対向する可動電極の上面及び下面の少なくとも一方に対向配置された第2固定電極と、を備える。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
慣性力に応じて所定方向に変位する可動電極と、該可動電極に対向配置された固定電極を備え、前記可動電極及び前記固定電極間の容量変化に応じた検出信号を出力する容量式慣性力センサであって、 前記固定電極として、 前記可動電極の変位にともない前記可動電極との対向距離が変化するように、前記可動電極における変位方向に垂直な側面に対向配置された第1固定電極と、 前記可動電極の変位にともない前記可動電極との対向面積が変化するように、前記第1固定電極と対向する可動電極の上面及び下面の少なくとも一方に対向配置された第2固定電極と、 を備えることを特徴とする容量式慣性力センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/125 ,  H01L 29/84 ,  B81B 3/00
FI (3件)：
G01P15/125 Z ,  H01L29/84 Z ,  B81B3/00
Fターム (29件)：
3C081AA00 ,  3C081BA07 ,  3C081BA32 ,  3C081BA44 ,  3C081BA48 ,  3C081EA02 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112CA35 ,  4M112DA02 ,  4M112DA03 ,  4M112DA06 ,  4M112DA15 ,  4M112DA16 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112EA06 ,  4M112EA07 ,  4M112EA11 ,  4M112FA01 ,  4M112FA20 ,  4M112GA01 ,  4M112GA03
引用特許：
審査官引用 (11件)
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