特許
J-GLOBAL ID：201303051962388720
有機発光装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
松永 宣行
, 辻 徹二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-036344
公開番号（公開出願番号）：特開2013-187190
出願日： 2013年02月26日
公開日（公表日）： 2013年09月19日
要約：
【課題】外部環境に対する密封性に優れ、フレキシブル特性を提供できる有機発光装置の製造方法を提供する。【解決手段】基板上に有機発光部を形成するステップと、軟化温度を有する無機物を含む少なくとも一層の無機膜を備える薄膜封止層を形成するステップと、を含み、前記無機膜の形成ステップは、真空状態でプラズマが前記無機物を含むソースを加熱し、前記ソースから分離された前記無機物、または前記無機物のイオンを、前記有機発光部上側に蒸着させ、前記有機発光部上に、前記無機物を含む予備無機膜を形成するステップと、前記予備無機膜を、前記無機物の軟化温度以上の温度でヒーリングするステップと、を含むことを特徴とする有機発光装置の製造方法。【選択図】図3A
請求項（抜粋）：
基板上に有機発光部を形成するステップと、
軟化温度を有する無機物を含む少なくとも一層の無機膜を備える薄膜封止層を形成するステップと、を含み、
前記無機膜の形成ステップは、
真空状態でプラズマが前記無機物を含むソースを加熱し、前記ソースから分離された前記無機物、または前記無機物のイオンを、前記有機発光部上側に蒸着させ、前記有機発光部上に、前記無機物を含む予備無機膜を形成するステップと、
前記予備無機膜を、前記無機物の軟化温度以上の温度でヒーリングするステップと、を含むことを特徴とする有機発光装置の製造方法。
IPC (3件)：
H05B 33/10
, H05B 33/04
, H01L 51/50
H05B33/10
, H05B33/04
, H05B33/14 A
3K107AA01
, 3K107CC23
, 3K107CC45
, 3K107EE48
, 3K107EE49
, 3K107EE50
, 3K107FF17
, 3K107GG02
, 3K107GG04
, 3K107GG26
, 3K107GG28
, 3K107GG51
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (3件)
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