特許
J-GLOBAL ID：201303060165472374

インプリントリソグラフィ

発明者：
ウイスター,サンダー

ウイスター,サンダー について

, 
デン ボーフ,アリー

デン ボーフ,アリー について

, 
クルイト-ステージマン,イボンヌ

クルイト-ステージマン,イボンヌ について


出願人/特許権者：
エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. について


代理人 (2件)： 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-543540
公開番号（公開出願番号）：特表2013-514638
出願日： 2010年10月01日
公開日（公表日）： 2013年04月25日
要約：
オブジェクトと別のオブジェクトとの相互アライメントに用いる特定のアライメント構成を備えたオブジェクトが開示される。アライメント構成は、実質的に規則的な格子の形態の第1の微細アライメントマークと、第1のアライメントマークと同じエリア内に位置する第2の粗アライメントマークとを含む。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
オブジェクトを別のオブジェクトに互いに整列させる際に用いるアライメント構成を備えたオブジェクトであって、該アライメント構成は、 実質的に規則的な格子の形態の第1の微細アライメントマークと、 前記第1のアライメントマークと同じエリアに位置する第2の粗アライメントマークとを含む、オブジェクト。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  B29C 33/38 ,  G01B 11/00
FI (6件)：
H01L21/30 502D ,  H01L21/30 522D ,  G03F7/20 521 ,  B29C33/38 ,  G01B11/00 G ,  G01B11/00 H
Fターム (33件)：
2F065AA03 ,  2F065AA14 ,  2F065AA20 ,  2F065BB02 ,  2F065CC20 ,  2F065DD03 ,  2F065FF04 ,  2F065FF48 ,  2F065LL41 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ38 ,  2F065RR05 ,  2F065TT02 ,  2F065UU08 ,  4F202AF01 ,  4F202AG05 ,  4F202AH36 ,  4F202AJ09 ,  4F202AR12 ,  4F202CA19 ,  4F202CB01 ,  4F202CD02 ,  4F202CD07 ,  4F202CD22 ,  4F202CD28 ,  4F202CD30 ,  5F146AA31 ,  5F146AA32 ,  5F146EA07 ,  5F146EA12 ,  5F146EB01 ,  5F146EB02 ,  5F146ED01
引用特許：
審査官引用 (8件)
全件表示
引用文献：
審査官引用 (1件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM