特許
J-GLOBAL ID：201303062861800001
シート剥離装置及び剥離方法並びにシート剥離用プレート部材
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-043641
公開番号（公開出願番号）：特開2013-118406
出願日： 2013年03月06日
公開日（公表日）： 2013年06月13日
要約：
【課題】簡単な構成で剥離用テープを接着シートに押圧して貼付し、当該剥離用テープと共に接着シートを折り返しながら剥離するとともに、バンプ等の突起を有する被着体であっても、接着シートの剥離により被着体に割れや破損が生じることを防止することができるようにすること。【解決手段】シート剥離装置10は、剥離用テープPTを繰り出す繰出手段11と、ウエハWに貼付された接着シートSに剥離用テープPTを押圧して貼付する押圧手段12と、剥離用テープPTとウエハWとを相対移動させることで接着シートSを剥離する単軸ロボット16と、剥離用テープPTと共に接着シートSを回収する回収手段13とを備えて構成されている。押圧手段12は、先端側で接着シートSをウエハWに押圧しつつ折り返し可能なプレート部材22を備え、このプレート部材22は、押圧するときに撓み変形可能に設けられている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープと前記被着体とを相対移動させることで前記接着シートを剥離するシート剥離装置において、
前記接着シートを折り返しながら剥離するプレート部材を備え、当該プレート部材は、前記接着シートを被着体に押圧して被着体側に膨出する方向に撓み変形することを特徴とするシート剥離装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
5F057AA05
, 5F057BA26
, 5F057FA15
, 5F057FA28
, 5F057FA30
, 5F131AA02
, 5F131BA53
, 5F131CA09
, 5F131CA37
, 5F131EA07
, 5F131EA22
, 5F131EB01
, 5F131EC73
, 5F131EC76
