特許
J-GLOBAL ID：201303071535613802

ジャイロセンサー及び電子機器

発明者：
田中 悟

田中 悟 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-005948
公開番号（公開出願番号）：特開2013-145189
出願日： 2012年01月16日
公開日（公表日）： 2013年07月25日
要約：
【課題】角速度に対する検出感度、検出精度などの検出特性に優れたジャイロセンサー、及びこのジャイロセンサーを備えた電子機器の提供。【解決手段】ジャイロセンサー1は、基板10と、基板10の上方(+Z側)であって、基板10の主面10aに沿ったX軸方向に並んで配置された2つの質量部20,21と、2つの質量部20,21の間に配置され、2つの質量部20,21のそれぞれとバネ部30,31を介して連結された支持部40と、2つの質量部20,21をX軸方向に沿って互いに逆方向へ振動させる駆動部50,51と、2つの質量部20,21の、印加される角速度によりX軸方向と交差するY軸方向へ変位する検出質量部20b,21bの変位量を検出する検出部60,61と、を備え、支持部40が平面視で2つの質量部20,21に挟まれた基板10の固定領域C内に固定されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、 前記基板上に配置された支持部と、 前記支持部にバネ部を介して接続され、且つ、前記基板上方の第1軸の方向に並んで配置された2つの質量部と、 前記2つの質量部を前記第1軸に沿って互いに逆方向へ振動させる駆動部と、 前記2つの質量部のそれぞれに設けられ、印加される角速度により前記第1軸と交差する方向へ変位する検出部と、を備え、 前記支持部は、平面視で前記2つの質量部に挟まれた前記基板の固定領域内に固定されていることを特徴とするジャイロセンサー。
IPC (1件)：
G01C 19/574
FI (1件)：
G01C19/56 247
Fターム (12件)：
2F105AA02 ,  2F105AA03 ,  2F105AA08 ,  2F105BB02 ,  2F105BB04 ,  2F105BB09 ,  2F105BB12 ,  2F105BB13 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13
引用特許：
審査官引用 (9件)
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