特許
J-GLOBAL ID:201303075846082768

電位測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): アイアット国際特許業務法人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-098095
公開番号(公開出願番号):特開2013-224904
出願日: 2012年04月23日
公開日(公表日): 2013年10月31日
要約:
【課題】測定感度を向上させることが可能な非接触式の電位測定装置を提供する。【解決手段】帯電物体をセンサ60によって非接触で測定する電位測定装置10Aであって、開口部45,55が設けられているシャッタ部44,54と板バネ部41,51とを有する第1シャッタ40Aおよび第2シャッタ50Aと、第1シャッタ40Aおよび第2シャッタ50Aの板バネ部41,51に取り付けられているマグネット80と、第1シャッタ40Aおよび第2シャッタ50Aのそれぞれのマグネット80に交番磁界を与えて板バネ部41,51を介してシャッタ部44,54を往復移動させるコイル33が配置されているヨーク31と、第1シャッタ40Aとマグネット80とを備える第1シャッタ系400A、および第2シャッタ50Aとマグネット80とを備える第2シャッタ系500Aのうちの少なくとも一方の固有振動数を調整する固有振動数調整手段100と、を具備する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
帯電物体の表面電位を、前記帯電物体に対向して配置されるセンサによって非接触で測定する電位測定装置であって、 前記帯電物体と前記センサとの間に配置され開口部を有するシャッタ部と、前記2つのシャッタ部から延びる板バネ部とを有する第1シャッタおよび第2シャッタと、 前記第1シャッタおよび前記第2シャッタのそれぞれの前記板バネ部に取り付けられているマグネットと、 前記第1シャッタおよび前記第2シャッタのそれぞれの前記マグネットに交番磁界を与えて前記板バネ部を介して前記シャッタ部を往復移動させるコイルが配置されているヨークと、 前記第1シャッタと当該第1シャッタに取り付けられる前記マグネットとを備える第1シャッタ系、および前記第2シャッタと当該第2シャッタに取り付けられる前記マグネットとを備える第2シャッタ系、のうちの少なくとも一方の固有振動数を調整する固有振動数調整手段と、 を具備することを特徴とする電位測定装置。
IPC (1件):
G01R 29/12
FI (1件):
G01R29/12 A
引用特許:
審査官引用 (12件)
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