特許
J-GLOBAL ID：201303093850389400

蛍光X線分析装置及び蛍光X線分析方法

発明者：
佐久田 昌博

佐久田 昌博 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクサイエンス

株式会社日立ハイテクサイエンス について


代理人 (3件)： 濱田 百合子 ,  橋本 公秀 ,  吉田 将明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-048276
公開番号（公開出願番号）：特開2013-217915
出願日： 2013年03月11日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
要約：
【課題】測定中に動いてしまう試料に関して、試料画像の変化から動いてしまった場合を自動検出する機能を提供すること。【解決手段】被測定物の試料画像を撮影する撮像部を備え、測定開始時点での試料画像を一時的に保存して、測定中又は測定後の最新の試料画像と比較する機能を備え、画像処理の結果、差分が閾値以上であれば、表示部、ブザー音、シグナルタワー、遠隔の管理端末への通知により、測定者へ警告を発する機能を有するようにした。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
試料ステージ上の被測定物にX線源からのX線を照射し、前記被測定物から発生する蛍光X線を測定することで、前記被測定物の構成元素を分析する蛍光X線分析装置であって、 必要な情報を入力する入力部と、 前記被測定物の測定部位画像を取得する撮像部と、 前記入力部からの入力情報および前記撮像部で取得した画像を処理・保存する演算部と、を備え、 当該演算部が、前記撮像部が取得した前記被測定物の測定領域を含む測定開始の直前の第一の画像と、該第一の画像に対応する位置の測定時に所定時間毎に取得する第二の画像のうち最新の画像とから、前記演算部により求めたそれら2つの画像の被測定物の位置状態に基づくそれぞれの特性値の差の値を、予め定めた基準値と比較することで前記被測定物の移動の有無を判定する移動判定機構を備えたことを特徴とする蛍光X線分析装置。
IPC (1件)：
G01N 23/223
FI (1件)：
G01N23/223
Fターム (12件)：
2G001AA01 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001DA05 ,  2G001DA06 ,  2G001FA03 ,  2G001FA06 ,  2G001HA07 ,  2G001HA13 ,  2G001KA01 ,  2G001PA11 ,  2G001PA14
引用特許：
審査官引用 (8件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM