特許
J-GLOBAL ID：201403064775005584
レーザを用いる焼結体膜形成方法及び焼結体膜形成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-059848
公開番号（公開出願番号）：特開2014-185358
出願日： 2013年03月22日
公開日（公表日）： 2014年10月02日
要約：
【課題】高い密着性を有する金属ナノ粒子焼結体膜を機能性膜として形成し、かつ高精度が要求される微細な機能性膜を高い歩留まりで形成することができる、実用レベルのレーザ焼結体膜形成法及び装置を提供する。【解決手段】金属ナノ粒子を分散させた金属ナノ粒子分散液を、塗布装置2を介して基板1上に塗布し、この金属ナノ粒子分散液の塗布領域にレーザ光照射装置5によりレーザ光を照射して基板上に金属焼結体膜を形成する方法及び装置であって、金属ナノ粒子分散液の塗布を、分散液の濡れ性が変化しないように加温装置により基板を一定の温度に維持しながら行ない、且つレーザ光照射により金属ナノ粒子を焼結する場合には、大気中においてレーザ光照射部位に不活性ガスを吹き付けながら行なうように構成する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
金属ナノ粒子を分散させた金属ナノ粒子分散液を、塗布装置を介して基板上に塗布する塗布工程と、この金属ナノ粒子分散液の塗布領域にレーザ光を照射して基板上に金属焼結体膜を形成するレーザ光照射工程と、を有し、
前記塗布工程は、前記金属ナノ粒子分散液の濡れ性が変化しないように加温装置により前記基板を一定の温度に維持しながら行なわれ、
前記レーザ光照射工程は、大気中でレーザ光照射部位に不活性ガスを吹き付けながら行なわれることを特徴とするレーザを用いた焼結体膜形成方法。
IPC (4件)：
C23C 24/08
, B22F 3/105
, B22F 7/04
, H05K 3/10
C23C24/08 B
, B22F3/105
, B22F7/04 D
, H05K3/10 D
, H05K3/10 C
4K018AA02
, 4K018BA01
, 4K018BB05
, 4K018BD04
, 4K018CA44
, 4K018DA23
, 4K018JA22
, 4K018KA33
, 4K044AA11
, 4K044AA12
, 4K044AA16
, 4K044BA08
, 4K044BB11
, 4K044BC14
, 4K044CA24
, 4K044CA25
, 5E343AA12
, 5E343BB23
, 5E343BB25
, 5E343BB71
, 5E343DD12
, 5E343DD69
, 5E343ER32
, 5E343ER45
, 5E343FF05
, 5E343GG20
