リン酸塩化合物の調製のための蒸着方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (7件)：辻居幸一 , 熊倉禎男 , 箱田篤 , 浅井賢治 , 山崎一夫 , 市川さつき , 服部博信
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-520732
公開番号（公開出願番号）：特表2014-525989
出願日： 2012年07月20日
公開日（公表日）： 2014年10月02日
要約：

本発明は、リン酸塩化合物の調製のための蒸着方法であって、リン酸塩化合物の各成分元素を蒸気として供給すること、及び成分元素の蒸気を共通の基板上に共堆積させることを含み、成分元素が、基板上で反応してリン酸塩化合物を生成する、方法を提供する。

請求項（抜粋）：

リン酸塩化合物の調製のための蒸着方法であって、リン酸塩化合物の各成分元素を蒸気として供給すること、及び前記成分元素の蒸気を共通の基板上に共堆積させることを含み、前記成分元素が前記基板上で反応してリン酸塩化合物を生成する、方法。

IPC (7件)：

C23C 14/06 , C01B 25/30 , C01B 25/42 , C01B 25/45 , C01B 21/097 , H01M 10/056 , H01M 4/58

FI (7件)：

C23C14/06 G , C01B25/30 Z , C01B25/42 , C01B25/45 Z , C01B21/097 , H01M10/0562 , H01M4/58

Fターム (22件)：

4K029AA06 , 4K029AA24 , 4K029BA41 , 4K029BB10 , 4K029CA09 , 4K029DA08 , 4K029DA12 , 4K029DB18 , 4K029DB21 , 4K029GA01 , 5H029AJ14 , 5H029AK01 , 5H029AL12 , 5H029AM12 , 5H029CJ24 , 5H029DJ12 , 5H050AA19 , 5H050BA17 , 5H050CA01 , 5H050CB12 , 5H050FA12 , 5H050GA24

引用特許：

審査官引用 (7件)

薄膜の製造方法及び製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-086795 出願人：松下電器産業株式会社
分子線源,分子線結晶成長装置,分子線結晶成長方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-306842 出願人：シャープ株式会社
薄膜の製造方法及び製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-220587 出願人：松下電器産業株式会社

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