特許
J-GLOBAL ID：201403078619828490

メタルマスクおよびメタルマスクの製造方法

発明者：
池 永 知加雄

池 永 知加雄 について

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落 合 洋 光

落 合 洋 光 について

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真 木 淳

真 木 淳 について

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青 木 大 吾

青 木 大 吾 について

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廣 部 吉 紀

廣 部 吉 紀 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (4件)： 勝沼 宏仁 ,  永井 浩之 ,  堀田 幸裕 ,  久野 允史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-186750
公開番号（公開出願番号）：特開2014-148746
出願日： 2013年09月09日
公開日（公表日）： 2014年08月21日
要約：
【課題】極めて高精細なパターニングを行うことを可能とするメタルマスクの製造方法を提供する。【解決手段】メタルマスクの製造方法は、第1面34aおよび第1面とは反対側の第2面34bを有する金属板34を第1面の側からエッチングして、凹部61を第1面の側から形成する工程と、各凹部内にレーザ光を照射して、当該凹部を第2面まで貫通させた貫通孔25を形成する工程と、を備え、貫通孔を形成する工程でのレーザ光の照射によって、第2面上における貫通孔の周縁の少なくとも一部分に沿って延び、且つ、第2面上における貫通孔の周縁から金属板の法線方向において外方に延び出した延出片65を形成する、メタルマスクの製造方法。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
第1面および前記第1面とは反対側の第2面を有する金属板を前記第1面の側からエッチングして、凹部を前記第1面の側から形成する工程と、 各凹部内にレーザ光を照射して、当該凹部を第2面まで貫通させた貫通孔を形成する工程と、を備え、 前記貫通孔を形成する工程でのレーザ光の照射によって、前記第2面上における前記貫通孔の周縁の少なくとも一部分に沿って延び、且つ、前記第2面上における前記貫通孔の前記周縁から前記金属板の法線方向において外方に延び出した延出片を形成する、メタルマスクの製造方法。
IPC (3件)：
C23C 14/04 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/10
FI (3件)：
C23C14/04 A ,  H05B33/14 A ,  H05B33/10
Fターム (11件)：
3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC35 ,  3K107FF15 ,  3K107GG04 ,  3K107GG33 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029CA01 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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