特許
J-GLOBAL ID：201403079201046514

基板搬送装置、基板研磨装置

発明者：
小菅 隆一

小菅 隆一 について

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西田 弘明

西田 弘明 について

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曽根 忠一

曽根 忠一 について

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相澤 英夫

相澤 英夫 について

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田中 智裕

田中 智裕 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (5件)： 小野 新次郎 ,  宮前 徹 ,  山崎 幸作 ,  鐘ヶ江 幸男 ,  串田 幸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-043948
公開番号（公開出願番号）：特開2014-175333
出願日： 2013年03月06日
公開日（公表日）： 2014年09月22日
要約：
【課題】基板搬送装置において、基板の落下を抑制する。【解決手段】基板を搬送するための基板搬送装置は、水平方向に移動可能に構成された搬送ステージTS1と、搬送ステージTS1から鉛直方向上方に向けて突出するように3つ以上設けられた基板載置部50cとを備える。基板載置部50cは、水平方向に対して傾斜し、上方側に向けられた第1傾斜面であって、3つ以上の基板載置部50cの内側において基板を載置するための第1傾斜面51cと、水平方向に対して傾斜し、下方側に向けられた第2傾斜面であって、第1傾斜面の上方に形成された第2傾斜面52cとを備える。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
基板を搬送するための基板搬送装置であって、 水平方向に移動可能に構成された搬送ステージと、 前記搬送ステージから鉛直方向上方に向けて突出するように3つ以上設けられた基板載置部と を備え、 前記基板載置部は、 前記水平方向に対して傾斜し、上方側に向けられた第1傾斜面であって、前記3つ以上の基板載置部の内側において前記基板を載置するための第1傾斜面と、 前記水平方向に対して傾斜し、下方側に向けられた第2傾斜面であって、前記第1傾斜面の上方に形成された第2傾斜面と を備えた基板搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/677 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/304
FI (3件)：
H01L21/68 A ,  B65G49/07 C ,  H01L21/304 622L
Fターム (24件)：
5F057AA05 ,  5F057AA34 ,  5F057BA11 ,  5F057CA11 ,  5F057DA03 ,  5F057FA32 ,  5F131AA02 ,  5F131BA33 ,  5F131BA37 ,  5F131BB03 ,  5F131CA09 ,  5F131CA32 ,  5F131DA22 ,  5F131DA35 ,  5F131DA42 ,  5F131DA62 ,  5F131DB06 ,  5F131DB13 ,  5F131DB58 ,  5F131DB62 ,  5F131DB72 ,  5F131DB88 ,  5F131DB97 ,  5F131FA14
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (8件)
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