特許
J-GLOBAL ID：201403083819177609

研磨用組成物

発明者：
吉崎 幸信

吉崎 幸信 について


出願人/特許権者：
株式会社フジミインコーポレーテッド

株式会社フジミインコーポレーテッド について


代理人 (1件)： 八田国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-196226
公開番号（公開出願番号）：特開2014-051576
出願日： 2012年09月06日
公開日（公表日）： 2014年03月20日
要約：
【課題】金属元素または半金属元素を含む研磨対象物を研磨する用途で使用される研磨用組成物において、研磨速度をよりいっそう向上させうる手段を提供する。【解決手段】金属元素または半金属元素を含む研磨対象物を研磨する用途で使用される研磨用組成物に、金属元素または半金属元素を含むオキソ酸と、水とを含ませる。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
金属元素または半金属元素を含む研磨対象物を研磨する用途で使用される研磨用組成物であって、 金属元素または半金属元素を含むオキソ酸と、 水と、 を含む、研磨用組成物。
IPC (2件)：
C09K 3/14 ,  H01L 21/304
FI (2件)：
C09K3/14 550Z ,  H01L21/304 622C
Fターム (12件)：
5F057AA14 ,  5F057AA28 ,  5F057AA34 ,  5F057BA15 ,  5F057BA22 ,  5F057BB25 ,  5F057BB40 ,  5F057DA03 ,  5F057EA03 ,  5F057EA21 ,  5F057EA29 ,  5F057EA31
引用特許：
審査官引用 (12件)
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