特許
J-GLOBAL ID：201403097404656510
金属弾性部材、微小機械装置、微小機械装置の製造方法、揺動制御装置及び揺動制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
橋本 薫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-247796
公開番号（公開出願番号）：特開2014-095837
出願日： 2012年11月09日
公開日（公表日）： 2014年05月22日
要約：
【課題】可動部を500Hz以下の周波数範囲で揺動可能なねじり回転軸となる梁部を構成する長寿命で信頼性の高い金属弾性部材、当該金属弾性部材を用いた微小機械装置及び微小機械装置の製造方法を提供する。【解決手段】少なくとも一つの可動部3と、固定部2と、両側から可動部3を固定部2に支持する一対の梁部4とを含み、梁部4を捻り回転軸とする軸心P周りに可動部を揺動可能な微小機械装置1の梁部4に用いられる金属弾性部材であって、所定長の金属棒状部4aと、金属棒状部4aの一端側に形成され固定部2に固定する固定側パッド4bと、金属棒状部4aの他端側に形成され可動部3に固定する可動側パッド4cとを含み、少なくとも金属棒状部4aは、機械的加工法を除く物理的または化学的加工法を用いて断面積1mm2以下に成形され、周波数150Hzから500Hzの範囲で可動部3を揺動する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
少なくとも一つの可動部と、固定部と、両側から前記可動部を前記固定部に支持する一対の梁部とを含み、前記梁部を捻り回転軸とする軸心周りに前記可動部を揺動可能な微小機械装置の前記梁部に用いられる金属弾性部材であって、
前記可動部を揺動する所定長の金属棒状部と、前記金属棒状部の一端側に形成され前記固定部に固定する固定側パッドと、前記金属棒状部の他端側に形成され前記可動部に固定する可動側パッドとを含み、
少なくとも前記金属棒状部は、機械的加工法を除く物理的または化学的加工法を用いて断面積1mm2以下に成形されている金属弾性部材。
IPC (4件)：
G02B 26/10
, G02B 26/08
, B81B 3/00
, B81C 3/00
G02B26/10 104Z
, G02B26/08 E
, B81B3/00
, B81C3/00
2H045AB01
, 2H045AB06
, 2H045AB10
, 2H045AB38
, 2H045AB44
, 2H045AB62
, 2H045AB73
, 2H141MA12
, 2H141MB24
, 2H141MC04
, 2H141MD16
, 2H141MF24
, 2H141MZ19
, 2H141MZ25
, 2H141MZ28
, 3C081AA01
, 3C081AA13
, 3C081BA28
, 3C081BA44
, 3C081BA47
, 3C081BA54
, 3C081BA80
, 3C081CA05
, 3C081CA15
, 3C081CA17
, 3C081CA30
, 3C081CA32
, 3C081DA11
, 3C081EA08
出願人引用 (8件)
-
光スキャナ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-346285
出願人：オムロン株式会社
-
光走査装置の製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2010-083128
出願人：ブラザー工業株式会社
-
電磁駆動型光偏向素子
公報種別：公開公報
出願番号：特願2006-215594
出願人：マイクロプレシジョン株式会社
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審査官引用 (9件)
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