特許
J-GLOBAL ID：201503002640890971
193nmレーザーを使用する固体レーザーおよび検査システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-514074
公開番号（公開出願番号）：特表2015-524080
出願日： 2013年05月17日
公開日（公表日）： 2015年08月20日
要約：
改良されたレーザーシステムおよび関連する技術は、1064nmに近い基本真空波長から、約193.368nmの紫外線(UV)波長を発生させる。好適な実施形態は、入力波長の未消費の部分を少なくとも一段階に分割し、別の段階での使用のためにその未消費の部分を向け直す。改良されたレーザーシステムおよび関連する技術は、産業において現在使用されているそれよりも、より安価で、より長寿命のレーザーをもたらす。これらのレーザーシステムは、簡単に入手可能で、比較的安価な部品によって構築され得る。
請求項（抜粋）：
約193.368nmの波長光を発生させるためのレーザーシステムであって、
約1064nmの対応する波長を有する基本振動数を発生させるように構成された基本波レーザーと、
前記基本振動数を下方変換し、前記基本振動数の半高調波であるOP出力を発生させるように構成された光パラメトリック(OP)モジュールと、
第5の調和振動数を発生させるために、前記OPモジュールの未消費の基本振動数を使用するように構成された第5の高調波発生器モジュールと、
前記約193.368nmの波長光を有するレーザー出力を発生させるために、前記第5の調和振動数と前記OP出力とを結合するための振動数混合モジュールと、を含む、レーザーシステム。
IPC (10件)：
G02F 1/39
, G01N 21/956
, G01N 21/84
, H01S 5/00
, H01S 3/067
, H01S 3/10
, H01S 3/00
, G02F 1/37
, G03F 7/20
, G03F 1/84
G02F1/39
, G01N21/956 A
, G01N21/84 E
, H01S5/00
, H01S3/067
, H01S3/10 Z
, H01S3/00 F
, G02F1/37
, G03F7/20 521
, G03F1/84
2G051AA51
, 2G051AA56
, 2G051AB02
, 2G051BA05
, 2G051BA10
, 2G051BB09
, 2G051BB11
, 2G051BB15
, 2G051CA01
, 2G051CB01
, 2G051CC09
, 2G051CC11
, 2H195BD04
, 2H195BD05
, 2H197CA06
, 2H197CA07
, 2H197HA03
, 2H197JA18
, 2K102AA06
, 2K102AA07
, 2K102AA08
, 2K102AA32
, 2K102BA18
, 2K102BB02
, 2K102BC01
, 2K102BC02
, 2K102BD09
, 2K102DA06
, 2K102DA09
, 2K102DA10
, 2K102DA20
, 2K102DC07
, 2K102DC08
, 2K102DD05
, 2K102DD06
, 2K102DD10
, 2K102EB06
, 2K102EB12
, 2K102EB20
, 5F172AE03
, 5F172AE09
, 5F172AF02
, 5F172AF06
, 5F172AM08
, 5F172NN05
, 5F172NN13
, 5F172NN14
, 5F172NR14
, 5F172NR22
, 5F172NR24
, 5F172ZZ04
, 5F173AB34
, 5F173AH12
, 5F173AH28
