特許
J-GLOBAL ID：201503015515647474

光線入射装置および反射光測定装置

発明者：
山下 友勇

山下 友勇 について

, 
入澤 昭好

入澤 昭好 について


出願人/特許権者：
株式会社アドバンテスト

株式会社アドバンテスト について


代理人 (1件)： 細田 益稔
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-193742
公開番号（公開出願番号）：特開2014-119448
特許番号：特許第5809674号
出願日： 2013年09月19日
公開日（公表日）： 2014年06月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 平行光線を受け、被測定物の一点に前記平行光線を収束させる光線収束器と、 前記平行光線を前記光線収束器に与える光線付与器と、 前記収束光線が前記一点において反射された反射光線の進行方向を変化させ、平行に進行する反射平行光線とする平行化器と、 前記反射平行光線を受けて直角に進行方向を変化させ、進行方向変化光線とする進行方向変化器と、 を備え、 前記光線付与器と、前記進行方向変化器とが一体であり、 前記光線収束器が前記平行光線を受ける受光部位に応じて、前記被測定物と前記平行光線が収束した収束光線との間の角度が変化し、 前記光線付与器は、前記受光部位を変化させることができ、 前記光線付与器は、平行に進行する入射光線を受けて直角に進行方向を変化させて、前記平行光線とするものであり、 前記光線付与器が、回転移動しないで、前記平行光線に対して平行に移動することにより、前記受光部位を変化させることができる、 光線入射装置。
IPC (1件)：
G01N 21/3581 ( 201 4.01)
FI (1件)：
G01N 21/358
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (13件)
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