終点検出のためのスペクトル特徴の適応的追跡

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：園田吉隆 , 小林義教
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-506491
特許番号：特許第6030122号
出願日： 2012年04月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】研磨を制御する方法であって、基板を研磨することと、基板を研磨中にインシトゥモニタシステムでモニタすることと、前記インシトゥモニタシステムからの測定から値のシーケンスを生成することであって、ここで、雑音を排除すると前記値のシーケンスは研磨時間にわたって線形に変化する、生成することと、研磨時間にわたって単調である非線形関数を前記値のシーケンスにフィットさせることと、前記非線形関数が目標値に達する予測時間を決定することと、前記予測時間に基づいて研磨終点または研磨速度調整の少なくとも一方を決定することとを含む、方法。

IPC (2件)：