特許
J-GLOBAL ID:201703001199149053

共振器およびレーザ装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  柴山 健一 ,  柴田 昌聰
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-019553
公開番号(公開出願番号):特開2017-139344
出願日: 2016年02月04日
公開日(公表日): 2017年08月10日
要約:
【課題】レーザパルス出力の自由度が高い共振器を提供する。【解決手段】共振器100は、光路結合ミラー101、ミラー103、ミラー104、パーシャルミラー109、第1ミラー111、第1入力結合ミラー112、第2ミラー121、第2入力結合ミラー122、ミラー123、検出器131、制御部132、ピエゾアクチュエータ133、検出器141、制御部142、ピエゾアクチュエータ143、検出器151、制御部152およびピエゾアクチュエータ153を備える。制御部152は、検出器151により検出された反射光強度に基づいてピエゾアクチュエータ153を駆動し、ピエゾアクチュエータ153によりミラー123の位置を調整することで、第1光路L1と第2光路L2との間の光路長差を調整する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
第1光路および第2光路と共通光路および外部光路との間で光を結合する光路結合ミラーと、 前記光路結合ミラーから前記共通光路に沿って入力した光を前記共通光路に沿って反射させるミラーと、 前記光路結合ミラーから前記第1光路に沿って入力した光を前記第1光路に沿って反射させる第1ミラーと、 前記光路結合ミラーから前記第2光路に沿って入力した光を前記第2光路に沿って反射させる第2ミラーと、 前記第1光路の途中に設けられ、外部から到達した第1レーザパルスを前記第1光路に沿って伝搬させて前記光路結合ミラーに入射させる第1入力結合ミラーと、 前記第2光路の途中に設けられ、外部から到達した第2レーザパルスを前記第2光路に沿って伝搬させて前記光路結合ミラーに入射させる第2入力結合ミラーと、 前記第1光路と前記第2光路との間の光路長差を調整して、前記光路結合ミラーにおける光の結合の状態を変化させ、前記光路結合ミラーから前記共通光路および前記外部光路それぞれへのレーザパルスの出射比率を変化させる制御部と、 を備える共振器。
IPC (1件):
H01S 3/10
FI (2件):
H01S3/10 Z ,  H01S3/10 D
Fターム (5件):
5F172DD03 ,  5F172NN05 ,  5F172NN13 ,  5F172NN14 ,  5F172NR06
引用特許:
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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