特許
J-GLOBAL ID:201703002618950230

圧力センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人 谷・阿部特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-015965
公開番号(公開出願番号):特開2017-134014
出願日: 2016年01月29日
公開日(公表日): 2017年08月03日
要約:
【課題】本発明の目的は、圧力検出素子が支持部材に接着剤で固定される圧力センサにおいて、温度変化による圧力検出素子の歪を低減し、精度の向上、及び、温度応答性の改善を図ることができる圧力センサを提供することである。【解決手段】本発明の圧力センサ100は、流体の圧力を検出する圧力検出素子126と、圧力検出素子126を支持する支持部材325と、圧力検出素子126と支持部材325を接着して固定する接着剤とを備え、接着剤から構成される接着剤層325Aの面に、支持部材325の一部に係合する複数の凹凸部である熱応力低減構造325Aaが設けられることを特徴とする。【選択図】図3
請求項(抜粋):
流体の圧力を検出する圧力検出素子と、 前記圧力検出素子を支持する支持部材と、 前記圧力検出素子と前記支持部材を接着して固定する接着剤と を備える圧力センサにおいて、 前記接着剤から構成される接着剤層の少なくとも一方の面に、前記支持部材、又は、前記圧力検出素子の一部に係合する複数の凹凸部である前記接着剤層の熱応力低減構造が設けられることを特徴とする圧力センサ。
IPC (1件):
G01L 9/00
FI (1件):
G01L9/00 303K
Fターム (10件):
2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD01 ,  2F055DD04 ,  2F055EE13 ,  2F055FF01 ,  2F055FF23 ,  2F055GG13 ,  2F055GG22
引用特許:
審査官引用 (10件)
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