特許
J-GLOBAL ID：201703005566971100
熱電変換材料の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
大谷 保
, 片岡 誠
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-523741
特許番号：特許第6167104号
出願日： 2013年07月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 多孔質基板上に、2種以上の元素を含有する熱電半導体材料の薄膜が形成された熱電変換材料の製造方法において、アークプラズマ蒸着法を用いて、前記熱電半導体材料を前記多孔質基板上に成膜する工程、かつ該成膜工程時及び/又は該成膜工程後に熱処理を施す工程を含み、前記多孔質基板が、ブロックコポリマーの自己組織化により形成されてなり、該ブロックコポリマーが、親水性ユニットと疎水性ユニットとから構成されているブロックコポリマーであることを特徴とする熱電変換材料の製造方法。
IPC (5件)：
H01L 35/34 ( 200 6.01)
, H01L 35/16 ( 200 6.01)
, H01L 35/18 ( 200 6.01)
, H01L 35/20 ( 200 6.01)
, H01L 35/32 ( 200 6.01)
H01L 35/34
, H01L 35/16
, H01L 35/18
, H01L 35/20
, H01L 35/32 A
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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引用文献：
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