特許
J-GLOBAL ID：201703006031984609
波長検出器、波長較正システム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
特許業務法人小林国際特許事務所
, 伊東 忠重
, 伊東 忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-113836
公開番号（公開出願番号）：特開2013-033932
特許番号：特許第6210526号
出願日： 2012年05月17日
公開日（公表日）： 2013年02月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 紫外線レーザ装置から出力されるレーザ光の波長を検出する波長検出器であって、
貫通孔がそれぞれ形成された筒状のアノードおよびカソードを含み、前記アノードに直流電圧を印加した状態で所定の第1の波長を含むレーザ光が前記カソードの前記貫通孔を通過するときに、オプトガルバニック効果によって前記アノードと前記カソードの間の電気的特性が変化するように構成された放電管と、
前記アノードに直流電圧を印加するよう構成された高圧直流電源と、
前記カソードの信号レベルの変化を検出するための信号検出点を含む信号処理部と、
を含み、
前記信号処理部は、前記信号検出点における光電効果信号の検出を抑制するために前記信号検出点の信号検出タイミングを所定時間遅延させる遅延回路を含む、
波長検出器。
IPC (2件)：
H01S 3/137 ( 200 6.01)
, H01S 3/00 ( 200 6.01)
出願人引用 (12件)
全件表示
審査官引用 (13件)
-
特開平1-101682
-
特開平1-101682
-
エキシマレ-ザに関する波長システム
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-064957
出願人：サイマーインコーポレイテッド
全件表示
前のページに戻る
