特許
J-GLOBAL ID：201703008035875955
樹脂封止金型、樹脂封止方法、および樹脂封止金型のクリーニング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人綿貫国際特許・商標事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-163076
公開番号（公開出願番号）：特開2015-030235
特許番号：特許第6096081号
出願日： 2013年08月06日
公開日（公表日）： 2015年02月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 一方および他方の金型を備え、該一方および他方の金型でワークをクランプして樹脂封止を行う樹脂封止金型であって、
前記一方の金型は、樹脂封止時に樹脂が充填されるキャビティ凹部を有し、
前記他方の金型は、前記ワークが配置される金型クランプ面に開口する複数の溝が設けられた第1金型ブロックと、前記複数の溝内のそれぞれに設けられた複数の第2金型ブロックと、を有し、
前記溝の内壁面と前記第2金型ブロックの外壁面との隙間には、前記ワークを吸引する吸引路が設けられ、
前記溝から前記金型クランプ面に臨む前記第2金型ブロックの先端が、先細り状に面取りされ、
前記隙間は、前記第2金型ブロックの先端側が前記第2金型ブロックの基端側よりも広いことを特徴とする樹脂封止金型。
IPC (2件)：
B29C 33/18 ( 200 6.01)
, H01L 21/56 ( 200 6.01)
B29C 33/18
, H01L 21/56 T
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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