流路ユニットの製造方法および液体噴射ヘッドの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：横井俊之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-072379
公開番号（公開出願番号）：特開2014-195935
特許番号：特許第6311217号
出願日： 2013年03月29日
公開日（公表日）： 2014年10月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】振動板を変形させて圧力室内の液体を噴射させる流路ユニットの製造方法であって、上記振動板の前駆体を内部発熱させて焼成し、セラミックス製の上記振動板を形成する焼成工程と、上記焼成工程より先に開始され、上記焼成の温度よりも低い温度によって上記振動板の前駆体を加熱する前加熱工程と、を含み、上記前加熱工程の途中から上記焼成工程を開始することにより上記前加熱工程と上記焼成工程との一部を並行して実行することを特徴とする流路ユニットの製造方法。

IPC (1件)：