特許
J-GLOBAL ID：201803001085862601
プラズマ生成用の表面波アプリケータ
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
誠真IP特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-520974
特許番号：特許第6263175号
出願日： 2013年07月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 プラズマ生成用の表面波アプリケータであって、
-中心のコア体と、前記中心コア体を囲繞し、かつ電磁波伝播用の環状の容積によって前記中心コア体から分離される管状の外側の導体とから構成される導電性の同軸アセンブリと、
-前記同軸アセンブリの端部において前記電磁波伝播用の環状容積の中に挿入される誘電体の管であり、前記アプリケータの射出面を超えて、前記管の外径の少なくとも2倍に等しい長さだけ延び出る誘電体の管であって、その挿入および延び出しは、次のような態様において行われる、すなわち、その内壁および/または外壁がプラズマガスと接触している前記誘電体の管の部分に沿って表面波プラズマを生成するために、前記同軸アセンブリ内において伝播する前記電磁波が、前記管の縦方向において前記誘電体の管の切断面の中に導入されるような態様において行われる、誘電体の管と、
を含み、
前記同軸アセンブリの中に挿入される前記誘電体の管の長さが、前記プラズマのインピーダンスと、前記同軸アセンブリの特性インピーダンスとの間のインピーダンス整合をもたらすように選択される表面波アプリケータ。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H05H 1/46 B
, H05H 1/46 C
出願人引用 (20件)
全件表示
審査官引用 (20件)
全件表示
前のページに戻る
