特許
J-GLOBAL ID：201803013113890720
複合加工方法を用いたシャドウマスクの製造方法及びこれにより製造されたシャドウマスク
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人R&C
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-506891
公開番号（公開出願番号）：特表2018-526536
出願日： 2016年08月04日
公開日（公表日）： 2018年09月13日
要約：
本発明は、メタルシャドウマスクを製造する方法に関するもので、マスクパターンが形成されたシャドウマスクの製造方法において、ベースの上側でウェットエッチングを実行してウェットエッチングパターンを形成するウェットエッチング段階と、前記ウェットエッチングパターンが形成されたベースの上側又は下側でレーザー加工を実行して、前記ウェットエッチングパターンに連続するレーザー加工パターンを形成するレーザー加工段階とを含んでなることを特徴とする、複合加工方法を用いたシャドウマスクの製造方法及びこれにより製造されたシャドウマスクを技術的要旨とする。よって、ウェットエッチング及びレーザー加工を複合的に用いることにより、従来のレーザー加工工程による生産性低下の問題を解決し、ウェットエッチングによる高品質のシャドウマスクを提供することができるという効果がある。
請求項（抜粋）：
マスクパターンが形成されたシャドウマスクの製造方法において、
ベースの上側でウェットエッチングを実行してウェットエッチングパターンを形成するウェットエッチング段階と、
前記ウェットエッチングパターンが形成されたベースの上側又は下側でレーザー加工を実行して、前記ウェットエッチングパターンに連続するレーザー加工パターンを形成するレーザー加工段階とを含んでなることを特徴とする、複合加工方法を用いたシャドウマスクの製造方法。
IPC (5件)：
C23C 14/04
, B23K 26/00
, B23K 26/361
, H01L 51/50
, H05B 33/10
C23C14/04 A
, B23K26/00 N
, B23K26/361
, H05B33/14 A
, H05B33/10
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC45
, 3K107GG04
, 3K107GG33
, 4E168AD03
, 4E168CB03
, 4E168KA04
, 4K029HA01
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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