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特許
J-GLOBAL ID:201803014830621993

グラフェン基板、及びこの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人グランダム特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-073383
公開番号(公開出願番号):特開2018-181863
出願日: 2017年04月03日
公開日(公表日): 2018年11月15日
要約:
【課題】基板に良好に固定されたグラフェンを備えたグラフェン基板、及びこのグラフェン基板の製造方法を提供する。【解決手段】グラフェン基板1は、サファイア基板10と、サファイア基板10の表面側に積層され、厚み方向に貫通した貫通孔11Bが形成されたグラフェン11Aと、貫通孔11Bに設けられ、グラフェン11Aをサファイア基板10の表面に固定する固定部11Cとを備えている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板と、 前記基板の表面側に積層され、厚み方向に貫通した貫通孔が形成されたグラフェンと、 前記貫通孔に設けられ、前記グラフェンを前記基板の表面に固定する固定部と、 を備えていることを特徴とするグラフェン基板。
IPC (5件):
H01L 21/320 ,  H01L 21/768 ,  C01B 32/184 ,  H01L 21/285 ,  H01L 23/532
FI (4件):
H01L21/88 B ,  C01B32/184 ,  H01L21/285 P ,  H01L21/88 M
Fターム (41件):
4G146AA01 ,  4G146AB07 ,  4G146AD21 ,  4G146AD22 ,  4G146AD28 ,  4G146AD40 ,  4G146BA01 ,  4G146BB05 ,  4G146BB11 ,  4G146BB15 ,  4G146BB22 ,  4G146BB23 ,  4G146BC01 ,  4G146BC02 ,  4G146BC13 ,  4G146BC23 ,  4G146BC27 ,  4G146BC33B ,  4G146BC37B ,  4G146BC42 ,  4G146BC44 ,  4G146CA02 ,  4G146CB29 ,  4G146DA03 ,  4M104AA10 ,  4M104DD35 ,  4M104DD79 ,  4M104DD80 ,  4M104DD85 ,  4M104HH09 ,  5F033GG03 ,  5F033HH07 ,  5F033HH13 ,  5F033HH18 ,  5F033HH38 ,  5F033PP19 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ13 ,  5F033QQ41 ,  5F033QQ73 ,  5F033XX13
引用特許:
審査官引用 (4件)
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