特許
J-GLOBAL ID:201803014830621993 グラフェン基板、及びこの製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者: 代理人 (1件):
特許業務法人グランダム特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-073383
公開番号(公開出願番号):特開2018-181863
出願日: 2017年04月03日
公開日(公表日): 2018年11月15日
要約:
【課題】基板に良好に固定されたグラフェンを備えたグラフェン基板、及びこのグラフェン基板の製造方法を提供する。【解決手段】グラフェン基板1は、サファイア基板10と、サファイア基板10の表面側に積層され、厚み方向に貫通した貫通孔11Bが形成されたグラフェン11Aと、貫通孔11Bに設けられ、グラフェン11Aをサファイア基板10の表面に固定する固定部11Cとを備えている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板と、
前記基板の表面側に積層され、厚み方向に貫通した貫通孔が形成されたグラフェンと、
前記貫通孔に設けられ、前記グラフェンを前記基板の表面に固定する固定部と、
を備えていることを特徴とするグラフェン基板。
IPC (5件):
H01L 21/320
, H01L 21/768
, C01B 32/184
, H01L 21/285
, H01L 23/532
FI (4件):
H01L21/88 B
, C01B32/184
, H01L21/285 P
, H01L21/88 M
Fターム (41件):
4G146AA01
, 4G146AB07
, 4G146AD21
, 4G146AD22
, 4G146AD28
, 4G146AD40
, 4G146BA01
, 4G146BB05
, 4G146BB11
, 4G146BB15
, 4G146BB22
, 4G146BB23
, 4G146BC01
, 4G146BC02
, 4G146BC13
, 4G146BC23
, 4G146BC27
, 4G146BC33B
, 4G146BC37B
, 4G146BC42
, 4G146BC44
, 4G146CA02
, 4G146CB29
, 4G146DA03
, 4M104AA10
, 4M104DD35
, 4M104DD79
, 4M104DD80
, 4M104DD85
, 4M104HH09
, 5F033GG03
, 5F033HH07
, 5F033HH13
, 5F033HH18
, 5F033HH38
, 5F033PP19
, 5F033QQ08
, 5F033QQ13
, 5F033QQ41
, 5F033QQ73
, 5F033XX13
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