窒化アルミニウム結晶の製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：須田篤 , 楠修二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-136934
公開番号（公開出願番号）：特開2020-011882
出願日： 2018年07月20日
公開日（公表日）： 2020年01月23日
要約：

【課題】均一で大きい窒化アルミニウム結晶を、比較的容易に製造することができる窒化アルミニウム結晶の製造方法を提供する。【解決手段】GaN結晶とAlとを接触させ、GaN結晶中のGaとAlとの置換反応により窒化アルミニウム結晶を生成する。GaN結晶を、Alの融液またはAlを含む合金の融液に浸漬させ、置換反応により窒化アルミニウム結晶を生成してもよく、GaN結晶の表面にAlの膜を形成した後、熱処理を行い、置換反応により窒化アルミニウム結晶を生成してもよい。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

GaN結晶とAlとを接触させ、前記GaN結晶中のGaと前記Alとの置換反応により窒化アルミニウム結晶を生成することを特徴とする窒化アルミニウム結晶の製造方法。

IPC (1件)：

C30B 29/38

FI (1件)：

C30B29/38 C

Fターム (10件)：

4G077AA02 , 4G077AA03 , 4G077BE13 , 4G077CG07 , 4G077EC08 , 4G077ED01 , 4G077EG07 , 4G077EH07 , 4G077FE09 , 4G077HA02

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開昭58-021818
光素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-082261 出願人：古河電気工業株式会社
窒化アルミニウム結晶の製造方法及び製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-069918 出願人：住友金属鉱山株式会社, 国立大学法人東北大学

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