特許
J-GLOBAL ID：202103006429564009
被加工物を仕上げるための、高度に制御可能な処理ツールを有する機械
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人北青山インターナショナル
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-507626
特許番号：特許第6831835号
出願日： 2016年08月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 機械において、
単一の動作で表面を望ましい形状に研削し、前記表面に望ましい粗さを付与し、且つ汚染を除去する処理ツールであって、前記処理ツールは、研削及び粗化対象の表面に接触するように構成された接触表面を含み、前記接触表面は、(a)研削及び粗化対象の表面と同じ硬度を有し、(b)トロイダル形状を有し、そのトロイダル面と平坦な表面との接触が円を画定する、処理ツールと、
前記処理ツールにディザーを付与するように構成された回転軸および長手方向軸であって、前記処理ツールは前記長手方向軸に取り付けられ、前記長手方向軸は前記回転軸の周りで回転可能であり、前記長手方向軸が前記回転軸からオフセットされてディザーが生成され、前記トロイダル形状が円運動することが可能である、回転軸および長手方向軸と、
を含むことを特徴とする機械。
IPC (4件)：
H01L 21/304 ( 200 6.01)
, B24B 55/06 ( 200 6.01)
, B24B 7/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/683 ( 200 6.01)
H01L 21/304 622 H
, B24B 55/06
, B24B 7/00 Z
, H01L 21/68 N
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (1件)
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