AFMカンチレバー及びその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：最上健治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996291273
Publication number (International publication number)：1998123155
Application date： Oct. 15, 1996
Publication date： May. 15, 1998
Summary：

【要約】【課題】探針部の磨耗が少なく測定寿命を向上させたAFMカンチレバー及びその製造方法を提供する。【解決手段】支持部8より伸びた窒化シリコン膜製カンチレバー部7の自由端近傍に、該カンチレバー部7と一体的に形成された窒化シリコン膜製の探針部6を備えたAFMカンチレバーにおいて、窒化シリコン膜製の探針部6にのみ窒素,ヒ素等の不純物をイオン注入する。これにより、探針部6を構成している窒化シリコン膜の膜質が硬化し、探針部6の耐磨耗製が向上し、測定寿命が延びる。

Claim (excerpt)：

支持部より伸びた窒化シリコン膜製カンチレバー部の自由端近傍に、該カンチレバー部と一体的に形成された窒化シリコン膜製探針部を備えたAFMカンチレバーにおいて、前記窒化シリコン膜製探針部にのみ不純物がイオン注入されていることを特徴とするAFMカンチレバー。

IPC (3)：

G01N 37/00 , G01B 21/30 , H01L 21/265

FI (3)：

G01N 37/00 G , G01B 21/30 Z , H01L 21/265 W

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (25)

特開平3-218998
局所電荷分布測定方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-005348 Applicant：三菱電機株式会社
集積型AFMセンサー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-256855 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

Show all

Return to Previous Page