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J-GLOBAL ID：200903015265169786

感放射線性樹脂組成物

Inventor：
米田 英司

About 米田 英司

, 
川上 峰規

About 川上 峰規

, 
原 宏道

About 原 宏道


Applicant, Patent owner：
JSR株式会社

About JSR株式会社


Agent (3)： 渡邉 一平 ,  木川 幸治 ,  樋口 武
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004312826
Publication number (International publication number)：2006126365
Application date： Oct. 27, 2004
Publication date： May. 18, 2006
Summary：
【課題】レジストとしての基本物性に優れ、ラインエッジラフネスが小さい感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)分子鎖の末端に特定の式で表される基を有し、かつ式(2)で表される繰り返し単位、及び特定の繰り返し単位を有する樹脂、及び(B)感放射線性酸発生剤を含有する。【選択図】なし
Claim (excerpt)：
(A)分子鎖の少なくとも一方の末端に下記一般式(1)で表される基を有し、かつアルカリ難溶性あるいは不溶性であり、酸の作用によりアルカリ易溶性となる樹脂であって、下記一般式(2)で表される繰り返し単位、及び下記一般式(3)で表される繰り返し単位を有する樹脂、及び (B)感放射線性酸発生剤 を含有する感放射線性樹脂組成物。
IPC (5)：
G03F 7/039 ,  C08F 220/18 ,  C08F 220/28 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027
FI (5)：
G03F7/039 601 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28 ,  G03F7/033 ,  H01L21/30 502R
F-Term (33)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA05Q ,  4J100BA11P ,  4J100BA11Q ,  4J100BC03P ,  4J100BC04P ,  4J100BC07P ,  4J100BC09P ,  4J100BC53Q ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA27 ,  4J100DA39 ,  4J100FA04 ,  4J100JA38
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (9)
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