干渉計及び干渉計の校正方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊丹勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006114308
Publication number (International publication number)：2006329975
Application date： Apr. 18, 2006
Publication date： Dec. 07, 2006
Summary：

【課題】複数の撮像素子から得られる干渉縞の干渉縞強度のバイアス及び振幅のバラツキ、並びに位相の設計値からの偏差を、定期的に又は測定の前にユーザが容易に計測することを可能とし、測定の高精度化を達成すると共に、使用環境を選ばない干渉計を提供する。【解決手段】波長可変レーザ301からのレーザ光の波長を、波長シフト量Δλを少なくとも3通りに変化させて、その異なる少なくとも3通りの波長シフト量Δλの場合に関し、1つのCCDカメラ316、318、又は320で異なる干渉縞を撮像し、その干渉縞強度を取得する。これにより、バイアスBi(x、y)、振幅Ai(x、y)、及び位相Fi(x、y)を計算することができる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

出射される出射光の波長を変更可能に構成された波長可変光源と、該出射光を測定光と参照光とに分割すると共に、参照面で反射した前記参照光及び測定対象物で反射した前記測定光を合成して合成光とする光分割合成部材と、前記合成光を複数の分割光に分割する光分割手段と、前記複数の分割光の各々の間に所定の位相差を与える複数の位相シフト光学部材と、位相をシフトさせられた前記複数の分割光の各々により形成される複数の干渉縞画像を撮像する撮像部と、前記波長可変光源を制御して前記出射光の波長を複数通りに変化させる波長制御部と、前記測定対象物の一部か、または、前記測定対象物に代えて校正用基板を設置して前記波長制御部により前記出射光の波長を複数通りに変化させた場合に前記複数の分割光のそれぞれにより得られる複数通りの干渉縞の画像を各前記撮像部により撮像させ、撮像された複数通りの干渉縞の干渉縞強度に基づき、前記複数の分割光のそれぞれによる干渉縞の干渉縞強度のバイアス、振幅及び位相シフト量を演算する演算部とを備えたことを特徴とする干渉計。

IPC (2)：

G01B 9/02 , G01B 11/24

FI (2)：

G01B9/02 , G01B11/24 D

F-Term (51)：

2F064AA09 , 2F064CC01 , 2F064CC09 , 2F064DD01 , 2F064DD10 , 2F064EE01 , 2F064FF01 , 2F064FF08 , 2F064GG13 , 2F064GG22 , 2F064GG23 , 2F064GG32 , 2F064GG37 , 2F064GG38 , 2F064GG44 , 2F064GG49 , 2F064GG53 , 2F064GG61 , 2F064HH08 , 2F064JJ01 , 2F065AA53 , 2F065BB05 , 2F065DD04 , 2F065DD11 , 2F065EE00 , 2F065FF04 , 2F065FF51 , 2F065FF61 , 2F065GG04 , 2F065GG25 , 2F065HH09 , 2F065HH10 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065LL12 , 2F065LL30 , 2F065LL32 , 2F065LL35 , 2F065LL36 , 2F065LL37 , 2F065LL42 , 2F065NN06 , 2F065QQ13 , 2F065QQ25 , 2F065QQ27 , 2F065QQ28 , 2F065QQ31 , 2F065UU05 , 2F065UU07

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

特開平2-287107号公報
ワイヤハーネス用の排水プロテクタ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-301028 Applicant：矢崎総業株式会社

Cited by examiner (10)

位相シフト干渉縞同時撮像装置における平面形状計測方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-197484 Applicant：株式会社ミツトヨ
位相シフト干渉縞の同時計測装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-136831 Applicant：株式会社ミツトヨ
面形状測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-082274 Applicant：株式会社ニコン

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