金属酸化物を含有する膜及びその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：山下穣平 , 志村博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003286820
Publication number (International publication number)：2004091318
Application date： Aug. 05, 2003
Publication date： Mar. 25, 2004
Summary：

【課題】金属酸化物メソ構造体の作製に適用可能な孔の配向方向が制御された多孔質膜及びその製造方法を提供する。【解決手段】該多孔質膜の製造方法は、多孔質体の前駆体物質と両親媒性物質を含有する反応溶液を準備する工程、前記両親媒性物質の集合体を所定の方向に配向させる力を有する基板上に前記反応溶液を塗布する工程及び、前記反応溶液を塗布した基板を、水蒸気を含む雰囲気中で保持し、前記所定方向に配向した複数の両親媒性物質の集合体を有する多孔質体を形成する工程から構成される。【選択図】図6

Claim (excerpt)：

基板上の多孔質膜であって、基板表面に対して実質的に平行で且つ実質的に一軸方向に配向した複数のチューブ状の孔を備え、前記多孔質膜の孔壁に金属酸化物を含有することを特徴とする多孔質膜。

IPC (2)：

C01G19/02 , C01B13/32

FI (2)：

C01G19/02 C , C01B13/32

F-Term (7)：

4G042DA01 , 4G042DB04 , 4G042DC03 , 4G042DD01 , 4G042DD06 , 4G042DE04 , 4G042DE14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

細孔構造を有する薄膜及び細孔構造体の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-027055 Applicant：キヤノン株式会社
メソ構造体薄膜およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-138241 Applicant：キヤノン株式会社
シリカメソ構造体薄膜、メソポーラスシリカ薄膜、シリカメソ構造体薄膜のパターニング方法及びメソポーラスシリカ薄膜のパターニング方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-189104 Applicant：キヤノン株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

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