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J-GLOBAL ID：200903062714788311

液晶表示装置用薄膜トランジスタ基板及びその製造方法

Inventor：
宋 俊 昊

About 宋 俊 昊

, 
朴 雲 用

About 朴 雲 用


Applicant, Patent owner：
三星電子株式会社

About 三星電子株式会社


Agent (1)： 小野 由己男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999353680
Publication number (International publication number)：2000180898
Application date： Dec. 13, 1999
Publication date： Jun. 30, 2000
Summary：
【要約】【課題】 液晶表示装置用薄膜トランジスタ基板の製造費用を減少させ、漏洩電流を防止する。【解決手段】 絶縁基板上にゲート配線を形成する段階と;ゲート配線を覆うゲート絶縁膜パターン、その上の半導体層パターン及び接触層パターンを含む三重層を形成する段階と;下部導電層及び上部導電層の二重層からなる導電体パターンを形成する段階と;導電体パターンで覆われない接触層パターンをエッチングする段階と;保護膜を形成する段階と;保護膜で覆われない導電体パターンの上部導電層をエッチングする段階と;を含む。
Claim (excerpt)：
絶縁基板上にゲート配線を形成する段階と、前記ゲート配線を覆うゲート絶縁膜パターン、ゲート絶縁膜パターンの上の半導体層パターン及び接触層パターンを含む三重層を形成する段階と、下部導電層及び上部導電層の二重層からなる導電体パターンを形成する段階と、前記導電体パターンで覆われない接触層パターンを除去する段階と、保護膜を形成する段階と、保護膜で覆われない導電体パターンの上部導電層を除去する段階と、を含む液晶表示装置用薄膜トランジスタ基板の製造方法。
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (15)
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Cited by examiner (16)
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