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J-GLOBAL ID：200903063858394551

自動研磨装置

Inventor：
林 喜宏

About 林 喜宏

, 
小林 一雄

About 小林 一雄


Applicant, Patent owner：
日本電気株式会社

About 日本電気株式会社

, 
株式会社岡本工作機械製作所

About 株式会社岡本工作機械製作所


Agent (1)： 菅野 中
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997111537
Publication number (International publication number)：1998303152
Application date： Apr. 28, 1997
Publication date： Nov. 13, 1998
Summary：
【要約】【課題】 ウエハの表面平坦化処理と、仕上げ処理とを同一のインデックステーブル上で行う。【解決手段】 インデックステーブル1の周上にローディングステーションS1,一次研磨ステーションS2,二次研磨ステーションS3,アンローディングステーションS4とが設定されている。インデックステーブル1は、ウエハを保持するホルダ2を有し、各ステーションS1〜S4に順次転回送りが与えられ、ローディングステーションS1で搬入されたウエハを一次研磨ステーションS2で平坦化処理し、二次研磨ステーションS3で仕上げ処理を行い、アンローディングステーションS4で外部へ搬出する。
Claim (excerpt)：
インデックステーブルと、ポリッシングヘッドとを有する自動研磨装置であって、インデックステーブルは、少なくとも2以上のウエハをそれぞれ定位置に上向きに保持して所定角度毎の転回送りが与えられるものであり、少なくとも1個所の研磨ステーションを有し、研磨ステーションは、インデックステーブル上に搬入されたウエハを研磨処理する領域であり、インデックステーブルの停止位置に割り付けられ、ポリッシングヘッドは、研磨ステーションのインデックステーブル上方に設置され、研磨面を有し、研磨面は、研磨ステーションに搬入されてきたウエハを上方から研磨するものであることを特徴とする自動研磨装置。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (15)
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