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J-GLOBAL ID：200903074843214770

表示装置用配線、該配線を有する薄膜トランジスタ表示板及びその製造方法

Inventor：
朴 弘 植

About 朴 弘 植


Applicant, Patent owner：
サムスン エレクトロニクス カンパニー リミテッド

About サムスン エレクトロニクス カンパニー リミテッド


Agent (1)： 特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005302481
Publication number (International publication number)：2006163367
Application date： Oct. 18, 2005
Publication date： Jun. 22, 2006
Summary：
【課題】配線の低抵抗特性及び信頼性を同時に確保する。【解決手段】導電性酸化物を含有する第1導電層及び銀を含有する第2導電層を有する表示装置用配線と、基板110、該基板110上に形成されているゲート線、ゲート線上に形成されているゲート絶縁膜140、ゲート絶縁膜140上に形成されているソース電極173を含むデータ線171及びソース電極173と対向しているドレイン電極175、及びドレイン電極175と接続されている画素電極190を有している。ゲート線とデータ線171及びドレイン電極175の少なくとも一方とは、導電性酸化物を含有する第1導電層及び銀を含有する第2導電層を有する。これにより、配線の密着性が向上するので剥離を防止することができ、信頼性が向上する。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
150°C以下の温度で形成された導電性酸化物を含有する第1導電層、及び前記第1導電層に隣接するように形成された銀(Ag)を含有する第2導電層を有することを特徴とする表示装置用配線。
IPC (11)：
G02F 1/134 ,  H01L 23/52 ,  H01L 21/320 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/28 ,  G02F 1/136 ,  C23C 14/06 ,  H05B 33/06 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/26
FI (14)：
G02F1/1343 ,  H01L21/88 R ,  H01L29/78 612C ,  H01L29/78 616V ,  H01L29/78 616U ,  H01L29/78 617M ,  H01L29/78 617L ,  H01L21/28 301R ,  G02F1/1368 ,  C23C14/06 N ,  H05B33/06 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/26 Z
F-Term (127)：
2H092GA25 ,  2H092GA34 ,  2H092HA04 ,  2H092HA06 ,  2H092HA12 ,  2H092HA19 ,  2H092JA24 ,  2H092JA40 ,  2H092JA44 ,  2H092JB24 ,  2H092JB33 ,  2H092KB04 ,  2H092MA05 ,  2H092MA13 ,  2H092MA17 ,  2H092NA18 ,  2H092NA28 ,  3K007AB06 ,  3K007AB15 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CB04 ,  3K007CC00 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  3K007FA02 ,  3K007FA03 ,  4K029BA04 ,  4K029BA50 ,  4K029BB02 ,  4K029BC03 ,  4K029BD02 ,  4K029CA05 ,  4K029DC03 ,  4K029DC05 ,  4K029DC16 ,  4K029EA01 ,  4K029EA08 ,  4M104AA09 ,  4M104BB08 ,  4M104BB19 ,  4M104BB36 ,  4M104BB37 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD37 ,  4M104DD42 ,  4M104DD65 ,  4M104FF18 ,  4M104GG08 ,  4M104GG09 ,  4M104HH08 ,  4M104HH09 ,  5F033HH14 ,  5F033HH32 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ38 ,  5F033KK14 ,  5F033KK25 ,  5F033KK32 ,  5F033KK38 ,  5F033LL06 ,  5F033MM08 ,  5F033MM13 ,  5F033MM21 ,  5F033PP15 ,  5F033PP16 ,  5F033QQ00 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ37 ,  5F033RR01 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR11 ,  5F033SS15 ,  5F033TT02 ,  5F033VV04 ,  5F033VV06 ,  5F033VV10 ,  5F033VV15 ,  5F033WW02 ,  5F033WW03 ,  5F033XX13 ,  5F033XX14 ,  5F033XX20 ,  5F110AA03 ,  5F110AA26 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE06 ,  5F110EE07 ,  5F110EE15 ,  5F110EE23 ,  5F110EE44 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF27 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG35 ,  5F110HK01 ,  5F110HK02 ,  5F110HK05 ,  5F110HK06 ,  5F110HK07 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK22 ,  5F110HK33 ,  5F110HL07 ,  5F110HL23 ,  5F110HM03 ,  5F110NN03 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN35 ,  5F110NN73 ,  5F110QQ05 ,  5F110QQ09
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (12)
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