基板とそれを用いた光素子

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：志賀正武 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000166698
Publication number (International publication number)：2001350050
Application date： Jun. 02, 2000
Publication date： Dec. 21, 2001
Summary：

【要約】【課題】応力が加わった場合においても破損等のおそれがなく、溝の側面の形状が高精度で制御された基板とそれを用いた光素子を提供する。【解決手段】本発明の基板は、LN基板11の表面11aに断面略矩形状の溝12が形成され、この溝12の底面12aと側面12bとの角部は曲率半径が0.5μm以上の凹面13とされていることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

板状体の一主面または両面に断面略矩形状の溝が形成され、当該溝の底面と側面との角部は曲率半径が0.5μm以上の凹面とされていることを特徴とする基板。

IPC (3)：

G02B 6/13 , B24C 1/04 , G02B 6/122

FI (3)：

B24C 1/04 B , G02B 6/12 M , G02B 6/12 A

F-Term (7)：

2H047KA05 , 2H047PA24 , 2H047QA02 , 2H047QA03 , 2H047RA08 , 2H047TA11 , 2H047TA42

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

強誘電体結晶基板の加工方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-034823 Applicant：日本碍子株式会社
光導波路デバイス、進行波形光変調器および光導波路デバイスの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-085579 Applicant：日本碍子株式会社
特開平4-204815

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