Pat
J-GLOBAL ID：200903076458546330
圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド及びこれらの製造方法並びにインクジェットプリンタ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
稲葉 良幸 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000042764
Publication number (International publication number)：2001237467
Application date： Feb. 21, 2000
Publication date： Aug. 31, 2001
Summary：
【要約】【課題】 分極の回転による圧電体膜の膜厚方向の歪み量を増大する。【解決手段】 菱面体晶系の圧電体膜7の膜面方向にx軸及びy軸をとり、膜厚方向をz軸とする直角座標系を定めたとき、原点をOとして(111)面方位をベクトルOPで表し、終点Pからxy平面へ降ろした垂線の足と同平面との交点をQとし、z軸とOPとのなす角をθ、x軸とOQとのなす角をφとしたとき、上記θ及びφについて、14deg≦θ≦23deg、且つ、0≦φ≦360degの条件を満たすように構成する。本構成により、外部電界によって分極軸は膜面方向から反転又は回転するため、分極軸の回転に起因する圧電体膜の膜厚方向の歪み量を増大させることができる。
Claim (excerpt)：
菱面体晶系の圧電体膜と、当該圧電体膜を挟んで一対の電極を構成する上部電極及び下部電極を備えた圧電体素子において、圧電体膜の膜面方向にx軸及びy軸をとり、膜厚方向をz軸とする直角座標系を定めたとき、原点をOとして(111)面方位をベクトルOPで表し、終点Pからxy平面へ降ろした垂線の足と同平面との交点をQとし、z軸とOPとのなす角をθ、x軸とOQとのなす角をφとしたとき、上記θ及びφについて、0deg≦θ≦36deg、且つ、0≦φ≦360degの条件を満たす圧電体素子。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 41/08 C
, B41J 3/04 103 H
2C057AF51
, 2C057AF93
, 2C057AG42
, 2C057AG44
, 2C057AP14
, 2C057AP57
, 2C057BA03
, 2C057BA14
Cited by examiner (10)
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