液晶表示装置およびその製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大岩増雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997100156
Publication number (International publication number)：1998293321
Application date： Apr. 17, 1997
Publication date： Nov. 04, 1998
Summary：

【要約】【課題】ドレイン電極と画素電極とのコンタクト抵抗を増大させずに、ソース配線、ソース電極およびドレイン電極を一回のパターニング工程で形成できる液晶表示装置を提供する。【解決手段】透明絶縁性基板1上にゲート配線2、ゲート絶縁膜4、半導体層5、コンタクト層6を順次形成する。次にIr等酸化膜が導電性を有する金属を成膜した後、パターニングしてソース配線7およびソース電極8とドレイン電極9を形成する。同時にソース電極8およびドレイン電極9に覆われていない部分のn層a-Siをエッチングする。次にドレイン電極9上にコンタクトホール11を有する層間絶縁膜10を形成する。最後にITOを成膜した後、パターニングしてドレイン電極9上に形成されたコンタクトホール11を介してドレイン電極と電気的に接続された画素電極12を形成する。

Claim (excerpt)：

透明絶縁性基板と、制御電極および制御電極配線と、半導体層と、上記制御電極および制御電極配線と上記半導体層の間に形成された絶縁膜と、酸化膜が導電性を有する金属により形成され、上記半導体層と共に半導体素子を構成する第一の電極、第一の電極配線および第二の電極と、上記第一の電極、第一の電極配線および第二の電極上に形成された層間絶縁膜と、上記制御電極、制御電極配線および上記第一の電極、第一の電極配線、第二の電極より上層に形成され、上記層間絶縁膜に設けられたコンタクトホールを介して上記第二の電極と電気的に接続された透明導電膜よりなる画素電極を有する第一の基板、上記第一の基板と共に液晶材料を挟持する第二の基板を備えたことを特徴とする液晶表示装置。

IPC (3)：

G02F 1/136 500 , H01L 29/786 , H01L 21/336

FI (5)：

G02F 1/136 500 , H01L 29/78 612 D , H01L 29/78 616 V , H01L 29/78 616 S , H01L 29/78 626 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

表示素子基板用半導体装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-317342 Applicant：ソニー株式会社
液晶表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-249835 Applicant：株式会社東芝
半導体装置,半導体装置の製造方法,表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-235521 Applicant：三洋電機株式会社

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