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J-GLOBAL ID:201003009852131172
高一様性のホウ素ドープト単結晶ダイヤモンド材料
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (6):
特許業務法人浅村特許事務所
, 浅村 皓
, 浅村 肇
, 浅野 裕一郎
, 安藤 克則
, 上村 陽一郎
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2009546058
Publication number (International publication number):2010516600
Application date: Jan. 22, 2008
Publication date: May. 20, 2010
Summary:
本発明は、第1の表面を有するホウ素ドープト単結晶ダイヤモンドの基体層と、前記第1の表面の上のホウ素ドープト単結晶ダイヤモンドの導電性層とを有するダイヤモンド材料において、前記導電性層中のホウ素の分布が、前記基体層中のホウ素の分布に比べてより一様である、ダイヤモンド材料に関する。
Claim (excerpt):
第1の表面を有するホウ素ドープト単結晶ダイヤモンドの基体層と、前記第1の表面の上にホウ素ドープト単結晶ダイヤモンドの導電性層を有するダイヤモンド材料において、
前記導電性層中のホウ素の分布が、前記基体層中のホウ素の分布に比べてより一様である、ダイヤモンド材料。
IPC (8):
C30B 29/04
, C30B 25/20
, C23C 16/27
, C23C 16/02
, H01B 1/04
, H01M 4/583
, H01M 4/04
, G01N 27/30
FI (8):
C30B29/04 P
, C30B25/20
, C23C16/27
, C23C16/02
, H01B1/04
, H01M4/58 102
, H01M4/04 101Z
, G01N27/30 B
F-Term (40):
4G077AA03
, 4G077AB01
, 4G077AB02
, 4G077AB06
, 4G077BA03
, 4G077DB01
, 4G077EB01
, 4G077ED05
, 4G077ED06
, 4G077HA05
, 4G077TK02
, 4G077TK06
, 4K030AA07
, 4K030AA10
, 4K030AA17
, 4K030AA18
, 4K030BA28
, 4K030BB02
, 4K030CA01
, 4K030CA12
, 4K030DA04
, 4K030FA02
, 4K030JA01
, 5G301BA01
, 5H050AA19
, 5H050BA00
, 5H050CA16
, 5H050CB09
, 5H050DA04
, 5H050FA18
, 5H050FA19
, 5H050GA16
, 5H050GA24
, 5H050GA27
, 5H050HA02
, 5H050HA03
, 5H050HA04
, 5H050HA08
, 5H050HA10
, 5H050HA17
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (11)
-
ダイヤモンド単結晶基材及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-065124
Applicant:三菱マテリアル株式会社
-
ホウ素ドーピングされたダイヤモンド
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2003-553040
Applicant:エレメントシックスリミテッド
-
ダイヤモンド膜、その製造方法、電気化学素子、及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-264225
Applicant:独立行政法人物質・材料研究機構, 凸版印刷株式会社
-
ダイヤモンド結晶
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-331591
Applicant:キヤノン株式会社
-
特開平3-205399
-
耐熱性オーミック電極を備えたダイヤモンド薄膜及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-104766
Applicant:株式会社神戸製鋼所
-
ダイヤモンド紫外線発光素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-153802
Applicant:東京瓦斯株式会社
-
ダイヤモンド半導体装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-307180
Applicant:株式会社神戸製鋼所
-
半導体装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-193239
Applicant:住友電気工業株式会社
-
合成ダイヤモンドを生成するためのシステム及び方法
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2003-519552
Applicant:アポロダイアモンド,インコーポレイティド
-
保護被膜、半導体ウェーハの処理装置、及び薄フィルムダイヤモンド被膜の生成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-000164
Applicant:サンーゴバンセラミックスアンドプラスティクス,インコーポレイティド
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