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J-GLOBAL ID：201303007787339347

パターン化位相差フィルムの欠陥検査装置及び方法並びに製造方法

Inventor：
高橋 一平

About 高橋 一平


Applicant, Patent owner：
富士フイルム株式会社

About 富士フイルム株式会社


Agent (1)： 小林 和憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011188469
Publication number (International publication number)：2013050381
Application date： Aug. 31, 2011
Publication date： Mar. 14, 2013
Summary：
【課題】パターン化位相差フィルムの欠陥を精度よく検出する。【解決手段】投光機11と撮影装置12との間に、第1及び第2偏光板13,15を配置する。第1及び第2偏光板13,15の間に、検査対象のパターン化位相差フィルム20を配置する。撮影装置12側でフィルム20と第2偏光板15との間にλ/4波長板14を配置する。第2偏光板15を回転させて、第1偏光板13の透過軸をフィルム20の光学軸に対し45°傾けた状態で、第2偏光板15の透過軸を前記λ/4波長板14の光学軸に対して+45度にした第1状態で撮影装置12により第1画像を撮影する。第2偏光板15の透過軸をλ/4波長板14の光学軸に対して-45度にした第2状態で撮影装置12により第2画像を撮影する。第1画像と第2画像とを第1及び第2位相差領域が一致する位置で重ね合わせて合成する。得られた合成画像に基づき欠陥を検出する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
光学軸が互いに直交するそれぞれ帯状の第1及び第2位相差領域が交互に複数並べて配列されたパターン化位相差フィルムの欠陥部を検出するパターン化位相差フィルムの欠陥検出装置において、 前記パターン化位相差フィルムを挟むように配置される第1及び第2の偏光板と、 前記第1偏光板を介して前記パターン化位相差フィルムに照明光を照射する照明光源と、 前記パターン化位相差フィルムと前記第2偏光板との間に配置されるλ/4波長板と、 前記第1偏光板の透過軸を前記パターン化位相差フィルムの光学軸に対し45°傾けた状態で、前記第2偏光板の透過軸を、前記λ/4波長板の光学軸に対して+45度にした第1状態と、前記第2偏光板の透過軸を、λ/4波長板の光学軸に対して-45度にした第2状態とに選択的にセットする撮影条件変更部と、 前記撮影条件変更部による前記第1状態及び前記第2状態で、前記λ/4波長板及び前記第2偏光板を介して前記パターン化位相差フィルムを撮影し、第1画像及び第2画像を得る撮影装置と、 前記第1画像と前記第2画像との前記第1及び第2位相差領域を一致させて、第1画像及び第2画像を重ね合わせて合成する画像合成部と、 前記画像合成部からの合成画像信号に基づき前記欠陥を検出する欠陥検出部と を有することを特徴とするパターン化位相差フィルムの欠陥検査装置。
IPC (1)：
G01N 21/88
FI (1)：
G01N21/88 H
F-Term (14)：
2G051AA41 ,  2G051AB02 ,  2G051BA11 ,  2G051BB07 ,  2G051BB15 ,  2G051CA04 ,  2G051CB02 ,  2G051CC07 ,  2G051CC15 ,  2G051DA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051EC03
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (14)
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Cited by examiner (14)
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