原子間力顕微鏡装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：谷義一 , 阿部和夫
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2007238219
Publication number (International publication number)：2009069014
Patent number：5077938
Application date： Sep. 13, 2007
Publication date： Apr. 02, 2009
Claim (excerpt)：

【請求項1】試料表面の表面形状をタッピングモードで画像化する原子間力顕微鏡装置であって、前記試料表面と原子間力を介して相互作用し、前記原子間力によってたわみ、摩擦力によってゆがみを生ずるカンチレバーの先端と、前記カンチレバーに向けて第1のレーザ光を入射するレーザ光提供手段と、前記カンチレバーが前記第1のレーザ光を反射することにより発せられた第2のレーザ光を検出する光検出手段と、前記試料を載せたピエゾと、前記原子間力を一定に保ちながら前記試料を走査するように前記ピエゾを制御する制御手段と、前記第2のレーザ光の強度から前記カンチレバーの先端の前記たわみと前記ゆがみとを出力電圧として検出し、前記原子間力によって変調された前記出力電圧を復調する復調手段と、前記復調手段によって復調された出力電圧を、前記カンチレバーの先端の引力領域および斥力領域の動作を平均化することで前記カンチレバーの先端の動作を線形化するように変換し、前記変換された出力電圧から、表面形状オブザーバにより前記試料表面の表面形状を推定する推定手段と、推定された前記表面形状を記録するデータ記憶手段とを備えたことを特徴とする原子間力顕微鏡装置。

IPC (1)：

G01Q 60/34 ( 201 0.01)

FI (1)：

G01Q 60/34

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

走査型プローブ顕微測定法および走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-308207 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
位置決め制御装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-283785 Applicant：株式会社リコー
走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-148334 Applicant：日立建機株式会社