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J-GLOBAL ID:201703001199149053
共振器およびレーザ装置
Inventor:
,
,
,
Applicant, Patent owner:
,
Agent (4):
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, 柴山 健一
, 柴田 昌聰
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2016019553
Publication number (International publication number):2017139344
Application date: Feb. 04, 2016
Publication date: Aug. 10, 2017
Summary:
【課題】レーザパルス出力の自由度が高い共振器を提供する。【解決手段】共振器100は、光路結合ミラー101、ミラー103、ミラー104、パーシャルミラー109、第1ミラー111、第1入力結合ミラー112、第2ミラー121、第2入力結合ミラー122、ミラー123、検出器131、制御部132、ピエゾアクチュエータ133、検出器141、制御部142、ピエゾアクチュエータ143、検出器151、制御部152およびピエゾアクチュエータ153を備える。制御部152は、検出器151により検出された反射光強度に基づいてピエゾアクチュエータ153を駆動し、ピエゾアクチュエータ153によりミラー123の位置を調整することで、第1光路L1と第2光路L2との間の光路長差を調整する。【選択図】図2
Claim (excerpt):
第1光路および第2光路と共通光路および外部光路との間で光を結合する光路結合ミラーと、
前記光路結合ミラーから前記共通光路に沿って入力した光を前記共通光路に沿って反射させるミラーと、
前記光路結合ミラーから前記第1光路に沿って入力した光を前記第1光路に沿って反射させる第1ミラーと、
前記光路結合ミラーから前記第2光路に沿って入力した光を前記第2光路に沿って反射させる第2ミラーと、
前記第1光路の途中に設けられ、外部から到達した第1レーザパルスを前記第1光路に沿って伝搬させて前記光路結合ミラーに入射させる第1入力結合ミラーと、
前記第2光路の途中に設けられ、外部から到達した第2レーザパルスを前記第2光路に沿って伝搬させて前記光路結合ミラーに入射させる第2入力結合ミラーと、
前記第1光路と前記第2光路との間の光路長差を調整して、前記光路結合ミラーにおける光の結合の状態を変化させ、前記光路結合ミラーから前記共通光路および前記外部光路それぞれへのレーザパルスの出射比率を変化させる制御部と、
を備える共振器。
IPC (1):
FI (2):
F-Term (5):
5F172DD03
, 5F172NN05
, 5F172NN13
, 5F172NN14
, 5F172NR06
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (10)
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大強度レーザー蓄積システム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2013-062123
Applicant:大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構
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共振器分散測定方法および装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-206781
Applicant:日本電信電話株式会社
-
レーザーコンプトン散乱装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2012-021690
Applicant:大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構
-
可変波長光源
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-232231
Applicant:アンリツ株式会社
-
高線束の小型コンプトンX線源用の装置、システム、および方法
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2007-507544
Applicant:リンシャンテクノロジーズインコーポレイテッド
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チャープパルス増幅を利用した光発振器内での強光電磁場発生器
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2009-142687
Applicant:独立行政法人日本原子力研究開発機構
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共振器及びこれを用いたレーザー装置、レーザー装置の制御方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2013-048808
Applicant:独立行政法人日本原子力研究開発機構
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193nmレーザーを使用する固体レーザーおよび検査システム
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2015-514074
Applicant:ケーエルエー-テンカーコーポレイション
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極端紫外光源装置用ドライバレーザシステム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-310410
Applicant:株式会社小松製作所, ウシオ電機株式会社, ギガフォトン株式会社
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レーザ装置およびレーザ加工装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-221991
Applicant:三菱電機株式会社
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